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1. (WO2011150673) SPECTROMÈTRE DE POLARISATION À LARGE BANDE À INCIDENCE INCLINÉE ET SYSTÈME DE MESURE OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/150673    N° de la demande internationale :    PCT/CN2011/000916
Date de publication : 08.12.2011 Date de dépôt international : 30.05.2011
CIB :
G01N 21/21 (2006.01), G01N 21/27 (2006.01), G01J 4/00 (2006.01)
Déposants : BEIOPTICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; #402, Quantum Plaza, No. 27 Zhichun Road Haidian District Beijing 100191 (CN) (Tous Sauf US).
LI, Guoguang [US/CN]; (CN) (US Seulement).
LIU, Tao [CN/CN]; (CN) (US Seulement).
GENIO, Edgar [US/CN]; (CN) (US Seulement).
MA, Tiezhong [CN/CN]; (CN) (US Seulement).
YAN, Xiaolang [CN/CN]; (CN) (US Seulement)
Inventeurs : LI, Guoguang; (CN).
LIU, Tao; (CN).
GENIO, Edgar; (CN).
MA, Tiezhong; (CN).
YAN, Xiaolang; (CN)
Mandataire : CCPIT PATENT AND TRADEMARK LAW OFFICE; 8th Floor, Vantone New World Plaza 2 Fuchengmenwai Street Beijing 100037 (CN)
Données relatives à la priorité :
201010199230.7 02.06.2010 CN
Titre (EN) BROADBAND POLARIZATION SPECTROMETER WITH INCLINED INCIDENCE AND OPTICAL MEASUREMENT SYSTEM
(FR) SPECTROMÈTRE DE POLARISATION À LARGE BANDE À INCIDENCE INCLINÉE ET SYSTÈME DE MESURE OPTIQUE
(ZH) 斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a broadband spectrometer with inclined incidence of easy focus-adjusting, chromatism-free, polarization characteristic maintenance, and a simple structure, which comprises at least one polarizer (P, A), at least one curved reflecting element (OAP1, OAP2, OAP3, OAP4) and at least two flat reflecting elements (M1,M2). In the broadband spectrometer with inclined incidence, the light propagation direction is varied using the flat reflecting elements, and the polarization variation caused by a reflecting and condensing unit can be compensated, so that the polarization characteristic of the light after passing through the polarizer remains constant when it is obliquely incident and converges on the surface of a sample. The broadband spectrometer with inclined incidence can be used for high accurately measuring optical constants of the material of a sample and the thickness of a film, and/or analyzing critical dimensions (CD) or three dimensional morphology of a sample with periodic structures. An optical measurement system comprising the broadband spectrometer with inclined incidence is also provided.
(FR)L'invention porte sur un spectromètre à large bande à incidence inclinée ayant un réglage de focalisation facile, sans chromatisme, avec un maintien de caractéristiques de polarisation, et de structure simple, lequel spectromètre comprend au moins un polariseur (P, A), au moins un élément réfléchissant incurvé (OAP1, OAP2, OAP3, OAP4) et au moins deux éléments réfléchissants plats (M1, M2). Dans le spectromètre à large bande à incidence inclinée, la direction de propagation de la lumière varie à l'aide des éléments réfléchissants plats, et la variation de polarisation provoquée par une unité de réflexion et de condensation peut être compensée, de telle sorte que la caractéristique de polarisation de la lumière après être passée par le polariseur reste constante lorsqu'elle est incidente en oblique et qu'elle converge sur la surface d'un échantillon. Le spectromètre à large bande à incidence inclinée peut être utilisé pour mesurer avec une haute précision des constantes optiques du matériau d'un échantillon et l'épaisseur d'un film, et/ou pour analyser des dimensions critiques (CD) ou une morphologie en trois dimensions d'un échantillon avec des structures périodiques. L'invention porte également sur un système de mesure optique, qui comprend le spectromètre à large bande à incidence inclinée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)