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1. (WO2011149918) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À RÉSISTIVITÉ DE GRANDE SURFACE

Pub. No.:    WO/2011/149918    International Application No.:    PCT/US2011/037712
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Wed May 25 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01L 21/687
H01L 21/683
H02N 13/00
B23Q 3/15
C04B 35/00
Applicants: ENTEGRIS, INC.
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
COOKE, Richard, A.
STONE, Dale, K.
STONE, Lyudmila
BLAKE, Julian
SUURONEN, David
Inventors: COOKE, Richard, A.
STONE, Dale, K.
STONE, Lyudmila
BLAKE, Julian
SUURONEN, David
Title: MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À RÉSISTIVITÉ DE GRANDE SURFACE
Abstract:
La présente invention concerne un mandrin électrostatique. Le mandrin électrostatique comprend une électrode, et une couche superficielle activée par une tension dans l'électrode pour former une charge électrique pour fixer de manière électrostatique un substrat sur le mandrin électrostatique, la couche superficielle comportant une couche à charge contrôlée comprenant une résistivité superficielle supérieure à environ 1011 ohms par carré.