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1. (WO2011149001) MICROSCOPE À INTERFÉRENCE DE TRANSMISSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/149001    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/062044
Date de publication : 01.12.2011 Date de dépôt international : 26.05.2011
CIB :
H01J 37/295 (2006.01), H01J 37/09 (2006.01), H01J 37/24 (2006.01), H01J 37/26 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (Tous Sauf US).
NAGAOKI, Isao [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TANIGAKI, Toshiaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAGAOKI, Isao; (JP).
TANIGAKI, Toshiaki; (JP)
Mandataire : POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-122448 28.05.2010 JP
Titre (EN) TRANSMISSION INTERFERENCE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE À INTERFÉRENCE DE TRANSMISSION
(JA) 透過型干渉顕微鏡
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a transmission interference microscope that provides a degree of freedom to a region being observed while obtaining pure transmission information, and obtains highly-accurate interference images at high magnification under optimized radiation conditions. An electron beam emitted from an electron source (1) is split by a biprism (11) positioned under a converging lens (3), and enters objective lenses (4) as an electron beam (6) that permeates a sample, and an electron beam (7) that passes through a vacuum. The electron beam bends at the front magnetic fields of the objective lenses (4), and is emitted as a collimated beam in a state in which the sample location and vacuum are each appropriately spaced apart.
(FR)L'invention concerne un microscope à interférence de transmission qui confère un degré de liberté à une région que l'on observe tout en obtenant des informations de transmission pures, et qui permet d'obtenir des images par interférence de grande précision à un agrandissement élevé dans des conditions de rayonnement optimisées. Un faisceau d'électrons émis depuis une source d'électrons (1) est divisé par un prisme double (11) placé sous une lentille convergente (3), et entre dans des lentilles d'objectif (4) sous forme d'un faisceau d'électrons (6) qui traverse un échantillon et d'un faisceau d'électron (7) qui passe à travers le vide. Le faisceau d'électrons se courbe au niveau des champs magnétiques avant des lentilles d'objectif (4), et est émis sous forme d'un faisceau collimaté à un état où l'emplacement de l'échantillon et le vide sont espacés l'un de l'autre de façon appropriée.
(JA)純粋な透過情報を得ながら、観察領域に自由度を与え、さらに最適化した照射条件により、精度の高い干渉像を高い倍率で得ることを目的とする。電子源1から発せられた電子線は収束レンズ3の下に配備されたバイプリズム11によって分離され、試料を透過する電子線6、真空を通過する電子線7として対物レンズ4に入る。電子線は、対物レンズ4の前磁場で曲げられ、試料位置と真空をそれぞれ適当な距離はなれた状態で、平行ビームにて照射する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)