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1. (WO2011148924) DISPOSITIF DE FORMATION DE FILMS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/148924    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/061826
Date de publication : 01.12.2011 Date de dépôt international : 24.05.2011
CIB :
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/24 (2006.01), C23C 16/50 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
SHIMIZU Yasuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NOGUCHI Takafumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORI Katsuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HAGIWARA Munemoto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAKAMURA Masatoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIYAYA Takehisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORIOKA Yawara [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SHIGETA Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UCHIDA Hiroto [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIMIZU Yasuo; (JP).
NOGUCHI Takafumi; (JP).
MORI Katsuhiko; (JP).
HAGIWARA Munemoto; (JP).
NAKAMURA Masatoshi; (JP).
MIYAYA Takehisa; (JP).
MORIOKA Yawara; (JP).
SHIGETA Takashi; (JP).
UCHIDA Hiroto; (JP)
Mandataire : SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-118336 24.05.2010 JP
Titre (EN) FILM FORMING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FORMATION DE FILMS
(JA) 成膜装置
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a film forming device which forms films on substrates. Specifically disclosed is a film forming device comprising: a carrying chamber containing first moving means which are capable of automatically traveling while carriers each retaining the substrates are placed thereon; feeding and taking-out chambers and a plurality of film forming chambers which are so arranged as to communicate with the carrying chamber via individual opening and closing means; and exhaust means which are installed individually to the carrying chamber, the feeding and taking-out chambers, and the film forming chambers.
(FR)Le dispositif de l'invention permet de former des films sur des substrats. Spécifiquement, un tel dispositif comprend : une chambre de transport contenant des premiers moyens de transport capables de se déplacer automatiquement lorsque des éléments porteurs retenant chacun les substrats sont disposés sur lesdits moyens de transport ; des chambres d'alimentation et d'extraction et une pluralité de chambres de formation de films agencées de telle sorte qu'elles communiquent avec la chambre de transport via des moyens d'ouverture et de fermeture individuels ; et moyens d'échappement montés individuellement sur la chambre de transport, les chambres d'alimentation et d'extraction et les chambres de formation de films.
(JA) 基板に被膜を形成する成膜装置であって、前記基板を保持したキャリアを載置し自走可能とされた第一移動手段を内在する搬送室と、前記搬送室と連通するように個別の開閉手段を介して配された仕込・取出室、および複数の成膜室と、前記搬送室、前記仕込・取出室、および前記成膜室に個別に付設された排気手段と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)