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1. (WO2011148774) CAPTEUR DE CONTRAINTE SUPERFICIELLE

Pub. No.:    WO/2011/148774    International Application No.:    PCT/JP2011/060673
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Tue May 10 01:59:59 CEST 2011
IPC: G01L 1/18
H01L 29/84
Applicants: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
独立行政法人物質・材料研究機構
YOSHIKAWA Genki
吉川 元起
Rohrer Heinrich
ローラー ハインリッヒ
AKIYAMA Terunobu
秋山 照伸
Peter Vettiger
ピーター フェッティガー
Inventors: YOSHIKAWA Genki
吉川 元起
Rohrer Heinrich
ローラー ハインリッヒ
AKIYAMA Terunobu
秋山 照伸
Peter Vettiger
ピーター フェッティガー
Title: CAPTEUR DE CONTRAINTE SUPERFICIELLE
Abstract:
Un capteur de contrainte superficielle est configuré de telle façon que la déflexion de l'extrémité libre d'un élément en forme de plaque, provoquée par une contrainte uniforme, est transmise à l'autre élément en forme de plaque en déplaçant l'extrémité libre de l'autre élément en forme de plaque. La contrainte uniforme appliquée audit élément en forme de plaque est convertie en contrainte induite par une force ponctuelle dans l'autre élément en forme de plaque et la contrainte induite se concentre ensuite sur une partie étroite du côté de l'extrémité fixée à laquelle une piézorésistance est prévue. Il est donc proposé une nouvelle structure pour un capteur de contrainte superficielle à piézorésistance, ledit capteur de contrainte superficielle étant hautement sensible à la contrainte uniforme appliquée à la surface du capteur.