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1. (WO2011148281) CHAMBRE FERMÉE À ÉLÉMENT DE SÉPARATION DE FLUIDE

Pub. No.:    WO/2011/148281    International Application No.:    PCT/IB2011/051923
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Tue May 03 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01L 21/02
H01L 21/683
Applicants: LAM RESEARCH AG
LAM RESEARCH CORPORATION
GLEISSNER, Andreas
OBWEGER, Rainer
Inventors: GLEISSNER, Andreas
OBWEGER, Rainer
Title: CHAMBRE FERMÉE À ÉLÉMENT DE SÉPARATION DE FLUIDE
Abstract:
La récupération sélective d'un excès de fluide de traitement depuis l'intérieur d'une chambre de traitement fermée est réalisée par la mise en place d'un mandrin annulaire à entraînement magnétique et d'au moins un collecteur de fluide de traitement dans la chambre de traitement fermée, le mandrin annulaire et le collecteur de fluide étant verticalement mobiles l'un par rapport à l'autre.