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1. (WO2011148072) SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE SOUPLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/148072 N° de la demande internationale : PCT/FR2011/050986
Date de publication : 01.12.2011 Date de dépôt international : 29.04.2011
CIB :
H01J 37/02 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/256 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
244
Détecteurs; Composants ou circuits associés
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
252
Tubes analyseurs à spot par faisceaux électroniques ou ioniques; Micro-analyseurs
256
utilisant des faisceaux de balayage
Déposants :
KOCIAK, Mathieu [FR/FR]; FR (UsOnly)
ZAGONEL, Luiz, Fernando [IT/BR]; BR (UsOnly)
TENCE, Marcel [FR/FR]; FR (UsOnly)
MAZZUCCO, Stefano [IT/US]; US (UsOnly)
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3, rue Michel-Ange F-75016 Paris, FR (AllExceptUS)
Inventeurs :
KOCIAK, Mathieu; FR
ZAGONEL, Luiz, Fernando; BR
TENCE, Marcel; FR
MAZZUCCO, Stefano; US
Mandataire :
PONTET ALLANO & ASSOCIES SELARL; 6, avenue du Général de Gaulle F-78000 Versailles, FR
Données relatives à la priorité :
105410927.05.2010FR
Titre (EN) FLEXIBLE CATHODOLUMINESCENCE DETECTION SYSTEM AND MICROSCOPE EMPLOYING SUCH A SYSTEM
(FR) SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE SOUPLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME
Abrégé :
(EN) The invention relates to a cathodoluminescence detection system comprising: a collecting optic (112) collecting light radiation (108) from a sample illuminated by a beam of charged particles and reflecting said radiation (108) onto analysis means, said collecting optic (112) being placed in a chamber, called a vacuum chamber, wherein the pressure is below atmospheric pressure; and means (316) for adapting the light radiation, placed downstream of the collecting optic (112) and designed to adapt said light radiation (108) at the inlet of the analysis means. Said system is characterized in that all or part of the adapting means (316) is placed in an environment where the pressure is higher than the pressure in said vacuum chamber.
(FR) L'invention concerne un système de détection de cathodoluminescence comprenant : une optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux (108) provenant d'un échantillon éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement (108) vers des moyens d'analyse, ladite optique de collection (112) étant disposée dans une chambre, dite chambre à vide, où règne une pression inférieur à la pression atmosphérique; et des moyens d'adaptation (316) du rayonnement lumineux disposés en aval de l'optique collection (112) et prévus pour adapter ledit rayonnement lumineux (108) à l'entrée des moyens d'analyse; ledit système étant caractérisé en ce que tout ou partie des moyens d'adaptation (316) sont disposés dans un environnement où règne une pression supérieure à la pression dans ladite chambre à vide.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)