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1. (WO2011131769) DÉTECTION DE PARAMÈTRES DE TRAITEMENT AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/131769    N° de la demande internationale :    PCT/EP2011/056460
Date de publication : 27.10.2011 Date de dépôt international : 21.04.2011
CIB :
H01J 37/32 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : IMPEDANS LTD [IE/IE]; Unit 8 Woodford Court Woodford Business Park Santry Dublin 17 (IE) (Tous Sauf US).
SCULLIN, Paul [IE/IE]; (IE) (US Seulement).
GAHAN, David [IE/IE]; (IE) (US Seulement).
O'SULLIVAN, Donal [IE/IE]; (IE) (US Seulement)
Inventeurs : SCULLIN, Paul; (IE).
GAHAN, David; (IE).
O'SULLIVAN, Donal; (IE)
Mandataire : KELLY, Madeleine; 27 Clyde Road Ballsbridge Dublin, Dublin 4 (IE)
Données relatives à la priorité :
S2010/0241 21.04.2010 IE
Titre (EN) SENSING OF PLASMA PROCESS PARAMETERS
(FR) DÉTECTION DE PARAMÈTRES DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)A system for monitoring a condition in an enclosed plasma processing space (102). The system comprises a sensor (338), arranged to be provided within the enclosed plasma processing space, for sensing a condition in the enclosed plasma processing space and a modulation circuit (342), connected to the sensor, and arranged to modulate an output of the sensor to provide a modulated signal. The system further comprises a first transmission line coupler (330) arranged to be disposed within the enclosed plasma processing space. The first transmission line coupler (546) is connected to the modulation circuit and is arranged to couple the modulated signal to a transmission line, which is arranged to deliver energy into the enclosed plasma space. The system further comprises a second transmission line coupler, arranged to be disposed outside the enclosed plasma processing space and coupled to the transmission line and a demodulator (550), connected to the second coupler, for receiving and demodulating the modulated signal.
(FR)L'invention concerne un système de surveillance de l'état d'un espace de traitement au plasma fermé (102). Le système comprend un capteur (338) conçu pour être disposé à l'intérieur d'un espace de traitement au plasma fermé, pour détecter un état dans l'espace de traitement au plasma fermé et un circuit de modulation (342) connecté au capteur, et conçu pour moduler une sortie du capteur afin de fournir un signal modulé. Le système comprend en outre un premier coupleur de ligne de transmission (330) agencé de façon à être disposé à l'intérieur de l'espace de traitement au plasma fermé. Le premier coupleur de ligne de transmission (546) est connecté au circuit de modulation et est conçu pour coupler le signal modulé à une ligne de transmission qui est conçue pour délivrer de l'énergie à l'espace de plasma fermé. Le système comprend en outre un second coupleur de ligne de transmission conçu pour être disposé à l'extérieur de l'espace de traitement au plasma fermé et relié à la ligne de transmission et à un démodulateur (550), connecté au second coupleur, pour recevoir et démoduler le signal modulé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)