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1. (WO2011131431) ENSEMBLE MIROIR COLLECTEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/131431    N° de la demande internationale :    PCT/EP2011/054098
Date de publication : 27.10.2011 Date de dépôt international : 18.03.2011
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML Netherlands B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL) (Tous Sauf US).
LABETSKI, Dzmitry [BY/NL]; (NL) (US Seulement).
LOOPSTRA, Erik [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
KEMPEN, Antonius [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : LABETSKI, Dzmitry; (NL).
LOOPSTRA, Erik; (NL).
KEMPEN, Antonius; (NL)
Mandataire : SLENDERS, Peter; De Run 6504 NL-5504 DR Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/326,965 22.04.2010 US
61/360,089 30.06.2010 US
Titre (EN) COLLECTOR MIRROR ASSEMBLY AND METHOD FOR PRODUCING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION
(FR) ENSEMBLE MIROIR COLLECTEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Abrégé : front page image
(EN)A collector mirror assembly (302) includes a collector mirror (co') that includes a reflective surface (304) and a hole (306) having an edge (308). The hole extends through the reflective surface. The assembly also includes a tubular body (310) having an inner surface (312) and an outer surface (314). The tubular body is constructed and arranged to guide a gas flow (GF) in a direction substantially transverse to the reflective surface. The outer surface of the tubular body and the edge of the hole form an opening (316) arranged to guide a further gas flow (GF' ) that diverges with respect the gas flow substantially transverse to the reflective surface.
(FR)L'ensemble miroir collecteur (302) selon l'invention comprend un miroir collecteur (co1) qui comprend une surface réfléchissante (304) et un trou (306) comportant un bord (308). Le trou s'étend à travers la surface réfléchissante. L'ensemble comprend aussi un corps tubulaire (310) comportant une surface intérieure (312) et une surface extérieure (314). Le corps tubulaire est construit et agencé pour guider un courant de gaz (GF) dans une direction sensiblement transversale par rapport à la surface réfléchissante. La surface extérieure du corps tubulaire et le bord du trou forment une ouverture (316) agencée pour guider un autre courant de gaz (GF1) qui diverge par rapport au courant de gaz sensiblement transversal par rapport à la surface réfléchissante.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)