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1. (WO2011129364) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE MOTIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/129364    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/059178
Date de publication : 20.10.2011 Date de dépôt international : 13.04.2011
CIB :
G11B 5/84 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
Déposants : HOYA CORPORATION [JP/JP]; 7-5, Nakaochiai 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1618525 (JP) (Tous Sauf US).
YAMASHITA Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMASHITA Hiroshi; (JP)
Mandataire : ANIYA Setuo; 21 TOWA BLDG. 3F, 6-1, Iidabashi 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1020072 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-092298 13.04.2010 JP
Titre (EN) PATTERN INSPECTION DEVICE AND PATTERN INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE MOTIF
(JA) パターン検査装置およびパターン検査方法
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed as a pattern inspection device (1) that inspects bit patterns of a disc medium (4), formed with a plurality of concentric tracks, with the shape of each track pattern spaced for each one-bit in a radial direction and a circumferential direction, equipped with a rotating stage (14) mounted by the disc medium; a radiating optical system (2) that radiates an electron beam at the disc medium (4) that rotates along with the rotating stage (14); and an electron detector (3) that detects electrons generated from the disc medium (4) on the rotating stage (14) by radiating the electron beam using the radiating optical system (2); this inspects patterns by setting a spot diameter of the electron beam by the radiating optical system (2) to be larger than the bit pattern diameter.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'inspection de motif (1) qui inspecte des motifs binaires d'un support de disque (4) formé d'une pluralité de pistes concentriques, la forme de chaque motif de piste pour chaque bit étant espacée dans une direction radiale et une direction périphérique. Ledit dispositif est équipé d'un étage rotatif (14) sur lequel est monté le support de disque ; d'un système optique rayonnant (2) qui émet un faisceau d'électrons sur le support de disque (4) qui tourne avec l'étage rotatif (14) ; et d'un détecteur d'électrons (3) qui détecte des électrons générés par le support de disque (4) sur l'étage rotatif (14) par rayonnement du faisceau d'électrons à l'aide du système optique rayonnant (2) ; ceci permet l'inspection des motifs par réglage d'un diamètre de point du faisceau d'électrons par le système optique rayonnant (2) de manière à ce que son diamètre soit plus grand que le diamètre de motif binaire.
(JA) 複数のトラックが同心円状に形成されるとともに、各々のトラックのパターンの形態が1ビットごとに径方向および周方向に分離されているディスク媒体4のビットパターンを検査するパターン検査装置1の構成として、ディスク媒体が載せられる回転ステージ14と、回転ステージ14とともに回転するディスク媒体4に対して電子ビームを照射する照射光学系2と、照射光学系2による電子ビームの照射によって回転ステージ14上のディスク媒体4から発生する電子を検出する電子検出器3とを備え、照射光学系2による電子ビームのスポット径を、ビットパターンのパターン径以上に設定して、パターンの検査を行う。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)