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1. (WO2011128828) CAPTEUR A FIL CHAUD DE TAILLE SUBMILLIMETRIQUE ET PROCEDE DE REALISATION ASSOCIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/128828    N° de la demande internationale :    PCT/IB2011/051546
Date de publication : 20.10.2011 Date de dépôt international : 11.04.2011
CIB :
G01P 5/12 (2006.01), G01F 1/684 (2006.01)
Déposants : CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3 rue Michel Ange F-75016 Paris (FR) (Tous Sauf US).
ECOLE CENTRALE DE LILLE [FR/FR]; Cité Scientifique BP 48 F-59651 Villeneuve D'ascq Cedex (FR) (Tous Sauf US).
PERNOD, Philippe Jacques [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
GIMENO MONGE, Leticia [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
TALBI, Abdelkrim [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
MERLEN, Alain [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
VIARD, Romain Victor Jean [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
MORTET, Vincent [FR/BE]; (BE) (US Seulement).
SOLTANI, Ali [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
PREOBRAZHENSKY, Vladimir [RU/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : PERNOD, Philippe Jacques; (FR).
GIMENO MONGE, Leticia; (FR).
TALBI, Abdelkrim; (FR).
MERLEN, Alain; (FR).
VIARD, Romain Victor Jean; (FR).
MORTET, Vincent; (BE).
SOLTANI, Ali; (FR).
PREOBRAZHENSKY, Vladimir; (FR)
Mandataire : PRIORI Enrico; Cabinet Ores 36 rue de St Pétersbourg F-75008 Paris (FR)
Données relatives à la priorité :
1001523 12.04.2010 FR
Titre (EN) HOT-WIRE SENSOR OF SUBMILLIMETER SIZE AND ASSOCIATED METHOD OF PRODUCTION
(FR) CAPTEUR A FIL CHAUD DE TAILLE SUBMILLIMETRIQUE ET PROCEDE DE REALISATION ASSOCIE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a submillimetre-sized hot-wire sensor (1) comprising a substrate (10), two support rods (11, 12), a metal wire (13) extending between the two ends of the support rods (11, 12), and electrical contacts (14, 15) disposed on the support rods, said contacts each being linked to one of the ends of the wire (13). The metal wire comprises at least two layers of metal materials, one of said layers being made of a material exhibiting a residual stress under tension and the other layer being made of a material exhibiting a residual stress under compression. The thicknesses of these metal layers are adapted so as to compensate the residual stresses between the various layers.
(FR)L'invention concerne un capteur (1 ) à fil chaud de taille submillimétrique qui comprend un substrat (10), deux tiges support (11, 12), un fil métallique (13) s 1 étendant entre les deux extrémités des tiges support (11, 12) et des contacts électriques (14, 15) disposés sur les tiges supports, lesdits contacts étant chacun reliés à l'une des extrémités du fil (13). Le fil métallique comprend au moins deux couches de matériaux métalliques, dont l'une est réalisée en un matériau présentant une contrainte résiduelle en tension et dont l'autre est réalisée en un matériau présentant une contrainte résiduelle en compression. Les épaisseurs de ces couches de métal étant adaptées pour compenser les contraintes résiduelles entre les différents couches.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)