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1. (WO2011125339) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE POSSÉDANT UNE PLAGE DE FONCTIONNEMENT OPTIMISÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/125339    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/002096
Date de publication : 13.10.2011 Date de dépôt international : 08.04.2011
CIB :
G01F 1/696 (2006.01), G01F 7/00 (2006.01), G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-Chome, Minato-ku, Tokyo 1058614 (JP) (Tous Sauf US).
ZOLOCK, J. Michael [US/US]; (US) (US Seulement).
SMIRNOV, V. Alexei [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ZOLOCK, J. Michael; (US).
SMIRNOV, V. Alexei; (US)
Mandataire : OHNO, Seiji; OHNO & PARTNERS Marunouchi Kitaguchi Building 21F 6-5, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
12/757,574 09.04.2010 US
Titre (EN) MASS FLOW CONTROLLER WITH ENHANCED OPERATING RANGE
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE POSSÉDANT UNE PLAGE DE FONCTIONNEMENT OPTIMISÉE
Abrégé : front page image
(EN)A mass flow controller among other embodiments and method is described. The mass flow controller including a thermal mass flow sensor including at least two sensing elements coupled to a sensor tube of the mass flow controller, the thermal mass flow sensor being designed to provide a first signal indicative of flow of a gas within a first flow-rate-range and a second signal indicative of flow of the gas within a second flow-rate-range; and a control portion figured to control a valve position of the mass flow controller responsive to the first signal when the flow of the gas is within the first flow-rate-range and control the valve position of the mass flow controller responsive to the second signal when the flow of the gas is within a second flow-rate-range.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de régulation de débit massique et un procédé. Le dispositif de régulation de débit massique comprend un capteur de débit massique thermique qui comprend au moins deux éléments capteurs couplés à un tube capteur du dispositif de régulation de débit massique, le capteur de débit massique thermique étant conçu pour fournir un premier signal indicatif de débit d'un gaz au sein d'une première plage de débit et un second signal indicatif de débit du gaz au sein d'une seconde plage de débit ; et une partie de commande conçue pour commander une position de soupape du dispositif de régulation de débit massique en réponse à un premier signal lorsque le débit du gaz est au sein de la première plage de débit et commander la position de soupape du dispositif de régulation de débit massique en réponse au second signal lorsque le débit du gaz est au sein d'une seconde plage de débit.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)