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1. (WO2011125116) DISPOSITIF DE CLASSIFICATION ET DISPOSITIF D'INSPECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/125116    N° de la demande internationale :    PCT/JP2010/002488
Date de publication : 13.10.2011 Date de dépôt international : 05.04.2010
CIB :
H01L 33/00 (2010.01)
Déposants : UENO SEIKI CO., LTD. [JP/JP]; 1-2-18 Shimofutanishi, Mizumaki-cho, Onga-gun, Fukuoka 8070052 (JP) (Tous Sauf US).
HARA, Yoshiaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HARA, Yoshiaki; (JP)
Mandataire : KIUCHI, Mitsuharu; 5th Floor, Toranomon-Yoshiara Bldg., 6-13, Nishi-shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CLASSIFICATION DEVICE AND INSPECTION CLASSIFICATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CLASSIFICATION ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 分類装置及び検査分類装置
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are a classification device and an inspection classification device capable of classifying chips of a plurality of classes attached to the surface of a wafer sheet, rapidly and without loss of time. A classification device (20) comprises: a supply magazine (M2) which supplies a pre-classification second wafer ring (R2) holding map data with position information about the properties of chips (W) on the surface of a second wafer sheet (S2); a conveying device (22) equipped with a turntable (T); and a classification magazine (M3) which contains a third wafer ring (R3) with a third wafer sheet (S3) containing classified chips (W). The chips (W) are delivered between the supply magazine (M2) and the conveying device (22) by first and second delivery devices (21), and between the conveying device (22) and the classification magazine (M3) by first and second receiving devices (23).
(FR)L'invention concerne un dispositif de classification et un dispositif d'inspection capables de classer rapidement et sans perte de temps des puces d'une pluralité de classes fixées à la surface d'une plaquette. Le dispositif de classification (20) comprend : un magasin d'alimentation (M1) qui fournit un deuxième support annulaire de plaquette (R2) issu d'une préclassification contenant des données cartographiques avec des informations de position sur les propriétés de puces (W) présentes sur la surface d'une deuxième plaquette (S2) ; un dispositif de transport (22) équipé d'un plateau tournant (T) ; et un magasin de classification (M3) qui contient un troisième support annulaire de plaquette (R3) avec une troisième plaquette (S3) contenant des puces (W) classées. Ces puces (W) sont délivrées entre le magasin d'alimentation (M1) et le dispositif de transport (22) par un premier et un deuxième dispositif de distribution (21), et entre le dispositif de transport (22) et le magasin de classification (M3) par un premier et un deuxième dispositif de réception (23).
(JA) ウエハシート上に貼付された複数分類のチップを、時間のロスなしに高速に分類することが可能な分類装置及び検査分類装置を提供する。分類装置20は、第2のウエハシートS2上のチップWの特性に関する配置情報であるマップデータを保持した分類前の第2のウエハリングR2を供給する供給マガジンM2と、ターンテーブルTを備えた搬送装置22と、チップWを分類した後の第3のウエハシートS3を有する第3のウエハリングR3を収納する分類マガジンM3とを備える。そして、供給マガジンM2と搬送装置22との間のチップWの受け渡しを第1及び第2の受渡し装置21において行い、搬送装置22と分類マガジンM3との間のチップWの受け渡しを第1及び第2の受取り装置23によって行なうように構成される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)