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1. (WO2011123500) SYSTÈME DE POSITIONNEMENT DE FAISCEAU LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/123500    N° de la demande internationale :    PCT/US2011/030453
Date de publication : 06.10.2011 Date de dépôt international : 30.03.2011
CIB :
H01L 21/324 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
TERTITSKI, Leonid, M. [US/US]; (US) (US Seulement).
KUTTANNAIR, Krishna, Kumar [US/US]; (US) (US Seulement).
HUNTER, Aaron [US/US]; (US) (US Seulement).
MOFFATT, Stephen [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : TERTITSKI, Leonid, M.; (US).
KUTTANNAIR, Krishna, Kumar; (US).
HUNTER, Aaron; (US).
MOFFATT, Stephen; (GB)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; Patterson & Sheridan, L.L.P. 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500 Houston, TX 77056-6582 (US)
Données relatives à la priorité :
61/319,777 31.03.2010 US
Titre (EN) LASER BEAM POSITIONING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE POSITIONNEMENT DE FAISCEAU LASER
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for targeting a beam of radiation is provided. A beam steering mirror and a beam capture mirror are movably disposed along an optical pathway. A controller moves the beam steering mirror and the beam capture mirror in an x-y plane, and rotates the mirrors, to target the beam to a target location on a surface, while keeping the optical path length substantially constant for all target locations on the surface. The surface is rotated by a rotational actuator to bring all target locations to positions accessible by the beam targeting optics. Imprecision in targeting and optical path length may be compensated by providing an actuated aperture at the beam entry point and/or a variable focus lens with an optical range finding detector, all in communication with the controller.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de pointer un faisceau de rayonnement. Un miroir d'orientation de faisceau et un miroir d'acquisition de faisceau sont disposés de manière mobile le long d'un chemin optique. Une unité de commande déplace le miroir d'orientation de faisceau et le miroir d'acquisition de faisceau dans un plan x-y et fait tourner les miroirs afin de pointer le faisceau vers une position cible sur une surface, tout en maintenant la longueur du chemin optique sensiblement constante pour toutes les positions de la cible sur la surface. La surface est soumise à une rotation par un vérin de rotation afin d'amener toutes les positions des cibles à des positions auxquelles peut accéder l'optique de pointage du faisceau. L'imprécision du pointage et de la longueur du chemin optique peut être compensée en prévoyant une ouverture actionnée au point d'entrée du faisceau et/ou un objectif à foyer variable ayant un détecteur de télémétrie optique, tous ces éléments étant en communication avec l'unité de commande.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)