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1. (WO2011123449) SYSTÈMES LASER ET PROCÉDÉS UTILISANT DES IMPULSIONS LASER AJUSTÉES DE FORME TRIANGULAIRE POUR CLASSES DE CIBLES CHOISIES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/123449    N° de la demande internationale :    PCT/US2011/030350
Date de publication : 06.10.2011 Date de dépôt international : 29.03.2011
CIB :
H01L 21/301 (2006.01), H01L 21/78 (2006.01)
Déposants : ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 NW Science Park Drive Portland, OR 97229-5497 (US) (Tous Sauf US).
CHO, Bong, H. [US/US]; (US) (US Seulement).
PUGH, Brian, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
HOOPER, Andrew [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CHO, Bong, H.; (US).
PUGH, Brian, L.; (US).
HOOPER, Andrew; (US)
Mandataire : BARKER, Aaron, D.; Stoel Rives LLP 201 S. Main Street, Suite 1100 Salt Lake City, UH 84111 (US)
Données relatives à la priorité :
12/753,659 02.04.2010 US
Titre (EN) LASER SYSTEMS AND METHODS USING TRIANGULAR-SHAPED TAILORED LASER PULSES FOR SELECTED TARGET CLASSES
(FR) SYSTÈMES LASER ET PROCÉDÉS UTILISANT DES IMPULSIONS LASER AJUSTÉES DE FORME TRIANGULAIRE POUR CLASSES DE CIBLES CHOISIES
Abrégé : front page image
(EN)Processing workpieces, such as semiconductor wafers or other materials, with a laser, includes selecting a target to process that corresponds to a target class associated with a predefined temporal pulse profile. At least one of the predefined temporal pulse profiles may be triangular. The target class may include, for example unpassivated electrically conductive links or other bare metal structures. Based on the target class associated with the selected target, a laser pulse is generated having a triangular temporal pulse profile. The generated laser pulse is used to process the selected structure.
(FR)Le traitement de pièces à usiner, comme des plaquettes de semi-conducteur ou autres matériaux, à l'aide d'un laser consiste à choisir une cible à traiter qui correspond à une classe de cible associée à un profil d'impulsion temporelle prédéterminé. Au moins un des profils d'impulsion temporelle prédéterminés peut être triangulaire. La classe de cible peut par exemple comprendre des liaisons électro-conductrices non passivées ou d'autres structures métalliques nues. En fonction de la classe de cible associée à la cible choisie, on génère une impulsion laser qui possède un profil d'impulsion temporelle triangulaire. L'impulsion laser générée est utilisée pour traiter la structure choisie.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)