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1. (WO2011123238) CONTRÔLE DE LA FERROÉLECTRICITÉ DE FILMS DIÉLECTRIQUES PAR CONTRAINTE UNIAXIALE INDUITE PAR LE PROCÉDÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/123238    N° de la demande internationale :    PCT/US2011/028422
Date de publication : 06.10.2011 Date de dépôt international : 15.03.2011
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. [US/US]; New Orchard Rd. Armonk, New York 10504 (US) (Tous Sauf US).
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3, rue Michel Ange F-75794 Paris (FR) (Tous Sauf US).
DUBOURDIEU, Catherine A. [FR/US]; (US) (US Seulement).
FRANK, Martin M. [DE/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DUBOURDIEU, Catherine A.; (US).
FRANK, Martin M.; (US)
Mandataire : SULLIVAN, Sean F.; CANTOR COLBURN LLP 20 Church St., 22nd Floor Hartford, Connecticut 06103-3207 (US)
Données relatives à la priorité :
12/753,270 02.04.2010 US
Titre (EN) CONTROLLING FERROELECTRICITY IN DIELECTRIC FILMS BY PROCESS INDUCED UNIAXIAL STRAIN
(FR) CONTRÔLE DE LA FERROÉLECTRICITÉ DE FILMS DIÉLECTRIQUES PAR CONTRAINTE UNIAXIALE INDUITE PAR LE PROCÉDÉ
Abrégé : front page image
(EN)A method of controlling ferroelectric characteristics of integrated circuit device components includes forming a ferroelectrically controllable dielectric layer over a substrate; and forming a stress exerting structure proximate the ferroelectrically controllable dielectric layer such that a substantially uniaxial strain is induced in the ferroelectrically controllable dielectric layer by the stress exerting structure; wherein the ferroelectrically controllable dielectric layer comprises one or more of: a ferroelectric oxide layer and a normally non-ferroelectric material layer that does not exhibit ferroelectric properties in the absence of an applied stress.
(FR)Un procédé de contrôle des caractéristiques ferroélectriques de composants de dispositifs à circuits intégrés comprend la formation sur un substrat d'une couche diélectrique à ferroélectricité contrôlable ; et la formation d'une structure exerçant une contrainte à proximité de la couche diélectrique à ferroélectricité contrôlable de manière à induire une contrainte sensiblement uniaxiale dans la couche diélectrique à ferroélectricité contrôlable au moyen de la structure exerçant une contrainte ; la couche diélectrique à ferroélectricité contrôlable comprenant un ou plusieurs des éléments suivants : une couche d'oxyde ferroélectrique et une couche de matériau normalement non ferroélectrique qui ne présente pas de propriétés ferroélectriques en l'absence de contrainte appliquée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)