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1. (WO2011122687) SOURCE D'IONS À MÉTAL LIQUIDE, PROCÉDÉ PERMETTANT DE FABRIQUER UNE SOURCE D'IONS À MÉTAL LIQUIDE ET INSTRUMENT D'ÉMISSION DE FAISCEAU IONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/122687    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/058375
Date de publication : 06.10.2011 Date de dépôt international : 25.03.2011
CIB :
H01J 49/10 (2006.01), H01J 27/26 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01)
Déposants : ULVAC-PHI, INCORPORATED [JP/JP]; 370, Enzo, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538522 (JP) (Tous Sauf US).
WIECK, Andreas Dirk [DE/DE]; (DE).
SAKAI, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KAWASAKI, Toyosei [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : WIECK, Andreas Dirk; (DE).
SAKAI, Daisuke; (JP).
KAWASAKI, Toyosei; (JP)
Mandataire : ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome, Gifu-shi, Gifu 5008731 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-076282 29.03.2010 JP
Titre (EN) LIQUID METAL ION SOURCE, METHOD FOR MANUFACTURING LIQUID METAL ION SOURCE, AND ION BEAM EMISSION INSTRUMENT
(FR) SOURCE D'IONS À MÉTAL LIQUIDE, PROCÉDÉ PERMETTANT DE FABRIQUER UNE SOURCE D'IONS À MÉTAL LIQUIDE ET INSTRUMENT D'ÉMISSION DE FAISCEAU IONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A liquid metal ion source 10 consists of a needle electrode 11 which is made from two metal wires 11a and 11b arranged in parallel with their outer surfaces being in contact with each other. The needle electrode 11 has a guide passage 11c and an emission end T, both of which are also formed by two metal wires 11a and 11b. The guide passage 11c continuously extends to the emission end T. Towards the bottom of the guide passage 11c, the width of the guide passage 11c decreases to zero. When liquid metal is supplied to the guide passage 11c, capillary action is created in the region close to the bottom of the guide passage 11c, and "volume flow" instead of the usual "surface flow" of the liquid metal occurs. The principle and phenomenon of "volume flow" corresponds with that of a fountain pen. The guide passage 11c continuously extends to the emission end T. Thus, the flow of the liquid metal towards the emission end T is stably continued, and the emission current of the ion beam is stabilized even in case of liquid metal with low wettability. Furthermore, the emission end T is formed to be the hypothetical single emission end. Thus, the controllability of the point and direction of the ion beam is maintained.
(FR)Une source d'ions à métal liquide (10) se compose d'une électrode-aiguille (11) constituée de deux fils métalliques (11a et 11b) disposés en parallèle avec leurs surfaces extérieures en contact. Ladite électrode-aiguille (11) possède un passage-guide (11c) et une extrémité d'émission (T), formés eux aussi par les deux fils métalliques (11a et 11b). Ce passage-guide (11c) s'étend de façon continue vers ladite extrémité d'émission (T). Vers le bas du passage-guide (11c), sa largeur diminue jusqu'à atteindre zéro. Lorsque le passage-guide (11c) est alimenté en métal liquide, une action capillaire se produit dans la région proche du bas dudit passage-guide (11c), et un « écoulement de volume » a lieu à la place de « l'écoulement de surface » habituel du métal liquide. Le principe et le phénomène de « l'écoulement de volume » correspondent à ceux d'un stylo à plume. Le passage-guide (11c) s'étend de façon continue vers l'extrémité d'émission (T). Ainsi, l'écoulement du métal liquide vers l'extrémité d'émission (T) se poursuit sans variation, et le courant d'émission du faisceau ionique est stabilisé même dans le cas d'un métal liquide ayant une faible mouillabilité. De plus, l'extrémité d'émission (T) représente hypothétiquement l'unique extrémité d'émission. Par conséquent, le point et la direction du faisceau ionique gardent leur contrôlabilité.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)