(EN) An epitaxial article (100) includes an epitaxial substrate (120) providing a substrate surface (103) having a substrate surface composition including crystalline defect or amorphous regions (111) and crystalline non-defect regions (112). The crystalline defect or amorphous regions are recessed from the substrate surface by surface recess regions, where a capping material (108) fills the surface recess regions to provide capped defects 113(a) that extend from a top of the defect regions to the substrate surface. The capping material is compositionally different from the substrate surface composition. An epitaxial layer (115) over the substrate surface provides an average crystalline defect density in at least one area having a size ≥ 0.5 μm2 that is ≥ two times lower than an average crystalline defect density in that area at or below the substrate surface.
(FR) Un article épitaxial (100) selon l'invention comprend un substrat épitaxial (120) offrant une surface de substrat (103) ayant une composition comprenant des régions de défauts cristallins ou amorphes (111) et des régions cristallines indemnes de défauts (112). Les régions de défauts cristallins ou amorphes sont en retrait par rapport à la surface du substrat, dans des régions d'évidements superficiels, et un matériau de coiffage (108) vient combler ces régions d'évidements superficiels pour obtenir des défauts coiffés 113(a) qui s'étendent depuis une partie supérieure desdites régions de défauts jusqu'à la surface du substrat. Le matériau de coiffage a une composition différente de la composition superficielle du substrat. Une couche épitaxiale (115) sur la surface du substrat donne une densité de défauts cristallins moyenne sur au moins une zone ayant une taille ≥ 0,5 μm2 qui est jusqu'à deux fois inférieure à une densité de défauts cristallins moyenne dans cette même zone, à la surface du substrat ou en-dessous.