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1. WO2011112055 - SONDE DE MICROSCOPE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ

Numéro de publication WO/2011/112055
Date de publication 15.09.2011
N° de la demande internationale PCT/KR2011/001744
Date du dépôt international 11.03.2011
CIB
G01Q 70/10 2010.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08Caractéristiques des sondes
10Forme ou cônicité
G01Q 70/16 2010.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
16Fabrication des sondes
CPC
G01Q 70/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
08Probe characteristics
14Particular materials
Déposants
  • 한국화학연구원 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • 서울대학교 산학협력단 SNU R&DB FOUNDATION [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • 서영덕 SUH, Yung Doug [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 전기석 JEON, Ki Seok [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 김형민 KIM, Hyung Min [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 홍승훈 HONG, Seung Hun [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 김태경 KIM, Tae Kyeong [KR]/[KR] (UsOnly)
Inventeurs
  • 서영덕 SUH, Yung Doug
  • 전기석 JEON, Ki Seok
  • 김형민 KIM, Hyung Min
  • 홍승훈 HONG, Seung Hun
  • 김태경 KIM, Tae Kyeong
Mandataires
  • 손민 SON, Min
Données relatives à la priorité
10-2010-002241412.03.2010KR
10-2010-002241512.03.2010KR
Langue de publication Coréen (ko)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) MICROSCOPE PROBE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) SONDE DE MICROSCOPE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
(KO) 현미경 탐침 및 이의 제조 방법
Abrégé
(EN) According to the present invention, a microscope probe comprises: a tip, the vertex of which is to be attached to one side of a cantilever and is formed into a triangular shape; and multiple layers made of a plurality of materials stacked onto the vertex of the tip, wherein the vertex is arranged to maintain a predetermined angle with respect to a substrate which is being scanned and disposed below the tip. The microscope probe and a method for manufacturing the same according to the present invention involve multiple layers made of a plurality of stacked materials so as to achieve Raman enhancement on the tip of the microscope probe, to thereby improve sharpness and resolution.
(FR) La présente invention se rapporte à une sonde de microscope qui comprend : un embout, dont le sommet doit être fixé à un côté d'un système cantilever et a une forme triangulaire ; et de multiples couches composées d'une pluralité de matériaux empilés sur le sommet de l'embout, le sommet étant agencé pour garder un angle prédéterminé par rapport à un substrat qui est balayé et disposé en dessous de l'embout. La sonde de microscope et un procédé de fabrication de cette dernière selon la présente invention comportent de multiples couches composées d'une pluralité de matériaux empilés de manière à réaliser une amplification Raman sur l'embout de la sonde de microscope, ce qui permet d'améliorer la netteté et la résolution.
(KO) 본 발명에 따른 현미경 탐침은, 캔틸레버(cantilever)의 일 측단에 부설되는 그 첨단부(vertex)가 삼각 형상으로 이루어지는 팁(tip)과, 상기 팁의 첨단부 상에 복수의 적층된 물질로 이루어지는 다중층(multi-layer)을 포함하며, 상기 첨단부는 상기 팁의 하부에 배치되는 스캐닝 기판과 각도를 유지하여 배치되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 현미경 탐침 및 이의 제조 방법은, 현미경 탐침의 팁 상에 라만 증강을 가져올 수 있도록 복수의 물질이 적층된 구조의 다중층을 형성하는 과정을 통하여 선명도 및 분해능을 향상할 수 있게 한다.
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