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1. (WO2010093733) DÉTECTION DES DÉFAUTS SUR UNE TRANCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/093733    N° de la demande internationale :    PCT/US2010/023802
Date de publication : 19.08.2010 Date de dépôt international : 10.02.2010
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), G01N 21/88 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US) (Tous Sauf US).
HUANG, Junqing [US/US]; (US) (US Seulement).
ZHANG, Yong [US/US]; (US) (US Seulement).
CHEN, Stephanie [US/US]; (US) (US Seulement).
LUO, Tao [US/US]; (US) (US Seulement).
GAO, Lisheng [US/US]; (US) (US Seulement).
WALLINGFORD, Richard [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HUANG, Junqing; (US).
ZHANG, Yong; (US).
CHEN, Stephanie; (US).
LUO, Tao; (US).
GAO, Lisheng; (US).
WALLINGFORD, Richard; (US)
Mandataire : MEWHERTER, Ann Marie; Entropy Matters LLC P.O. Box 2250 New York, New York 10021 (US)
Données relatives à la priorité :
61/152,477 13.02.2009 US
Titre (EN) DETECTING DEFECTS ON A WAFER
(FR) DÉTECTION DES DÉFAUTS SUR UNE TRANCHE
Abrégé : front page image
(EN)Methods and systems for detecting defects on a wafer are provided.
(FR)La présente invention a trait à des procédés et à des systèmes permettant de détecter les défauts sur une tranche.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)