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1. (WO2010093633) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR LE DÉPÔT EN SOLUTION D'UN MATÉRIAU À BASE D'OXYDES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/093633    N° de la demande internationale :    PCT/US2010/023636
Date de publication : 19.08.2010 Date de dépôt international : 09.02.2010
CIB :
H01L 21/288 (2006.01), H01L 31/18 (2006.01)
Déposants : UNITED SOLAR OVONIC LLC [--/US]; 3800 Lapeer Road Auburn Hills, MI 48326 (US) (Tous Sauf US).
LIU, Shengzhong [US/US]; (US) (US Seulement).
HU, Chaolan [US/US]; (US) (US Seulement).
ZHOU, Yanhua [US/US]; (US) (US Seulement).
BANERJEE, Arindam [US/US]; (US) (US Seulement).
YANG, Jeffrey [US/US]; (US) (US Seulement).
GUHA, Subhendu [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LIU, Shengzhong; (US).
HU, Chaolan; (US).
ZHOU, Yanhua; (US).
BANERJEE, Arindam; (US).
YANG, Jeffrey; (US).
GUHA, Subhendu; (US)
Mandataire : CITKOWSKI, Ronald W.; Gifford, Krass, Sprinkle, Anderson & Citkowski, P.C. 2701 Troy Center Drive Suite 330 Post Office Box 7021 Troy, MI 48007-7021 (US)
Données relatives à la priorité :
12/369,022 11.02.2009 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR THE SOLUTION DEPOSITION OF OXIDE MATERIAL
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR LE DÉPÔT EN SOLUTION D'UN MATÉRIAU À BASE D'OXYDES
Abrégé : front page image
(EN)A metal and oxygen material such as a transparent electrically conductive oxide material is electro deposited onto a substrate in a solution deposition process. Process parameters are controlled so as to result in the deposition of a high quality layer of material which is suitable for use in a back reflector structure of a high efficiency photovoltaic device. The deposition may be carried out in conjunction with a masking member which operates to restrict the deposition of the metal and oxygen material to specific portions of the substrate. In particular instances the deposition may be implemented in a continuous, roll-to-roll process. Further disclosed are semiconductor devices and components of semiconductor devices made by the present process, as well as apparatus for carrying out the process.
(FR)Selon l'invention, un matériau à base de métal et d'oxygène de type matériau à base d'oxydes électroconducteur transparent est déposé par électrodéposition sur un substrat dans un procédé de dépôt en solution. Des paramètres du procédé sont commandés afin d'assurer un dépôt d'une couche de matériau de haute qualité à utiliser dans une structure de rétroréflexion d'un dispositif photovoltaïque haute performance. Le dépôt peut être effectué conjointement avec un élément de masquage qui est utilisé pour limiter le dépôt du matériau à base de métal et d'oxygène sur des parties spécifiques du substrat. Dans des modes de réalisation spécifiques, le dépôt peut être effectué selon un procédé continu faisant intervenir des rouleaux. L'invention concerne également des dispositifs à semi-conducteurs et des composants de dispositifs à semi-conducteurs obtenus par le présent procédé, ainsi qu'un appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)