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1. (WO2010092842) GYROSCOPE VIBRATOIRE UTILISANT UN FILM PIÉZOÉLECTRIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/092842    N° de la demande internationale :    PCT/JP2010/050063
Date de publication : 19.08.2010 Date de dépôt international : 06.01.2010
CIB :
G01C 19/56 (2006.01), G01P 9/04 (2006.01), H01L 41/08 (2006.01)
Déposants : SUMITOMO PRECISION PRODUCTS Co., Ltd. [JP/JP]; 1-10, Fuso-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600891 (JP) (Tous Sauf US).
ARAKI, Ryuta [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IKEDA, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NISHIDA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORIGUCHI, Takafumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIRATA, Yasuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ARAKI, Ryuta; (JP).
IKEDA, Takashi; (JP).
NISHIDA, Hiroshi; (JP).
MORIGUCHI, Takafumi; (JP).
HIRATA, Yasuyuki; (JP)
Mandataire : KOUNO, Hiroaki; Suehiro-center Bldg. 7F, 4-8, Yorikimachi, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300036 (JP)
Données relatives à la priorité :
2009-029188 11.02.2009 JP
2009-173977 27.07.2009 JP
Titre (EN) VIBRATORY GYRO USING PIEZOELECTRIC FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF
(FR) GYROSCOPE VIBRATOIRE UTILISANT UN FILM PIÉZOÉLECTRIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A vibratory gyro which is provided with a ring-shaped vibrating body (11), a leg portion (15) flexibly supporting the ring-shaped vibrating body (11), a plurality of electrodes (13a-13d) formed by having a piezoelectric film sandwiched between an upper-layer metallic film and a lower-layer metallic film in the thickness direction, and a fixed potential electrode (16). The plurality of electrodes (13a-13d) include a bank of driving electrodes (13a) for exciting primary vibration, detection electrodes (13b) for detecting secondary vibration, and suppression electrodes (13d) for suppressing the secondary vibration on the basis of a voltage signal from the detection electrodes (13b). The driving electrodes (13a), the detection electrodes (13b) and the suppression electrodes (13d) are arranged in the region from the outer peripheral edge of the ring-shaped vibrating body (11) to the vicinity of the outer peripheral edge and/or the region from the inner peripheral edge thereof to the vicinity of the inner peripheral edge.
(FR)L'invention porte sur un gyroscope vibratoire qui comporte un corps vibrant annulaire (11), une partie jambe (15) supportant de façon flexible le corps vibrant annulaire (11), une pluralité d'électrodes (13a-13d) formées avec un film piézoélectrique intercalé entre un film métallique de couche supérieure et un film métallique de couche inférieure dans la direction de l'épaisseur, et une électrode à potentiel fixe (16). La pluralité d'électrodes (13a-13d) comprend une batterie d'électrodes d'entraînement (13a) pour exciter une vibration primaire, des électrodes de détection (13b) pour détecter une vibration secondaire et des électrodes de suppression (13d) pour supprimer la vibration secondaire sur la base d'un signal de tension provenant des électrodes de détection (13b). Les électrodes d'entraînement (13a), les électrodes de détection (13b) et les électrodes de suppression (13d) sont disposées dans la région allant du bord périphérique externe du corps vibrant annulaire (11) au voisinage du bord périphérique externe et/ou la région allant du bord périphérique interne de celui-ci au voisinage du bord périphérique interne.
(JA) 本発明の1つの振動ジャイロは、リング状振動体11と、リング状振動体11を柔軟に支持するレッグ部15と、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極13a~13d及び固定電位電極16とを備えている。複数の電極13a~13dは、一次振動を励起する一群の駆動電極13aと、二次振動を検出する検出電極13bと、検出電極13bからの電圧信号に基づいてその二次振動を抑制する抑制電極13dとを含み、駆動電極13a、検出電極13b、及び抑制電極13dは、リング状振動体11の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又は内周縁から内周縁の近傍に至るまでの領域に配置されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)