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1. (WO2010092128) SYSTEMES LITHOGRAPHIQUES A TABLES MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/092128    N° de la demande internationale :    PCT/EP2010/051742
Date de publication : 19.08.2010 Date de dépôt international : 11.02.2010
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.12.2010    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : MICRONIC MYDATA AB [SE/SE]; Nytorpsvägen 9 S-183 03 Täby (SE) (Tous Sauf US).
WALTHER, Jonas [SE/SE]; (SE) (US Seulement)
Inventeurs : WALTHER, Jonas; (SE)
Représentant
commun :
MICRONIC MYDATA AB; Nytorpsvägen 9 S-183 03 Täby (SE)
Données relatives à la priorité :
61/202,289 13.02.2009 US
Titre (EN) MULTI-TABLE LITHOGRAPHIC SYSTEMS
(FR) SYSTEMES LITHOGRAPHIQUES A TABLES MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)A lithographic workpiece processing tool includes a loading area (108) for loading a workpiece; and a processing area (106) for processing a workpiece. The workpiece processing tool further includes a multi-table system (10) arranged between the loading area and the processing area. The multi-table system includes at least two tables (110, 112) configured to pass each other while moving between the loading area and the processing area. Each of the at least two tables is configured to hold a workpiece.
(FR)L'invention concerne un outil de traitement de pièce à travailler lithographique, comprenant une zone de chargement (108) destinée à charger une pièce à travailler et une zone de traitement (106) destinée à traiter la pièce à travailler. L'outil de traitement selon l'invention comprend un système à tables multiples (10) disposé entre la zone de chargement et la zone de traitement. Le système à tables multiples comprend au moins deux tables (110, 112) configurées pour se dépasser en se déplaçant entre la zone de chargement et la zone de traitement. Chacune des deux tables au moins est configurée pour soutenir une pièce à travailler.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)