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1. (WO2010090727) PLATEAU DE MAINTIEN DE SUBSTRATS À POMPE À VIDE À GRANDE VITESSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/090727    N° de la demande internationale :    PCT/US2010/000294
Date de publication : 12.08.2010 Date de dépôt international : 02.02.2010
CIB :
H05K 3/02 (2006.01), B41J 13/22 (2006.01)
Déposants : WKK DISTRIBUTION, LTD. [CN/CN]; 2/F, WKK Building 414 Kwum Tong Road Kwum Tong, Kowloon (CN) (Tous Sauf US).
FULWOOD, Lionel [US/US]; (US) (US Seulement).
BAXTER, Greg [US/US]; (US) (US Seulement).
HART, John, H. [US/US]; (US) (US Seulement).
SINGH, Raja, B. [IN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : FULWOOD, Lionel; (US).
BAXTER, Greg; (US).
HART, John, H.; (US).
SINGH, Raja, B.; (US)
Mandataire : JOHNSON, Doyle, B.; Reed Smith LLP 101 Second Street Suite 1800 San Francisco, CA 94105-3659 (US)
Données relatives à la priorité :
12/322,505 03.02.2009 US
Titre (EN) SUBSTRATE HOLDING PLATEN WITH HIGH SPEED VACUUM
(FR) PLATEAU DE MAINTIEN DE SUBSTRATS À POMPE À VIDE À GRANDE VITESSE
Abrégé : front page image
(EN)A substrate holding platen has a top surface having a plurality of openings, an enclosed plenum area below the top surface, and a large orifice valve connecting the plenum area to a high flow vacuum pump. The plurality of openings may include snubber slots on the top surface, and/or openings for automatic shims. The high flow vacuum pump preferably pulls between 100 - 150 cubic feet per minute (cfm) of air from the plenum through the large orifice valve.
(FR)L'invention concerne une plateau de maintien de substrat comprenant une face supérieure présentant une pluralité d'orifices, une chambre de mélange cloisonnée en dessous de la face supérieure, et une vanne à grande ouverture reliant la chambre de mélange à une pompe à vide grand débit. La pluralité d'orifices peut comprendre des rainures antidérapantes sur la face supérieure, et/ou des orifices servant de cales automatiques. La pompe à vide grand débit fait passer entre 100 et 150 pied cube par minute (cfm) d'air de la chambre de mélange vers la vanne à grande ouverture.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)