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1. (WO2010089459) CHAMBRE DE RÉACTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/089459    N° de la demande internationale :    PCT/FI2010/050077
Date de publication : 12.08.2010 Date de dépôt international : 08.02.2010
CIB :
C23C 16/455 (2006.01)
Déposants : BENEQ OY [FI/FI]; Ensimmäinen savu FI-01510 Vantaa (FI) (Tous Sauf US).
PELTONIEMI, Janne [FI/FI]; (FI) (US Seulement).
SOININEN, Pekka [FI/FI]; (FI) (US Seulement)
Inventeurs : PELTONIEMI, Janne; (FI).
SOININEN, Pekka; (FI)
Mandataire : BORENIUS & CO OY AB; Itämerenkatu 5 FI-00180 Helsinki (FI)
Données relatives à la priorité :
20095124 09.02.2009 FI
Titre (EN) REACTION CHAMBER
(FR) CHAMBRE DE RÉACTION
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a reaction chamber for an atomic layer deposition reactor, the reaction chamber comprising outer walls (2, 4; 40, 42, 44, 46) for providing a reaction space inside the reaction chamber. According to the invention, at least one of the outer walls (2, 4; 40, 42, 44, 46) of the reaction chamber is made from a flexible thinsheet.
(FR)La présente invention concerne une chambre de réaction destinée à un réacteur pour dépôt de couche atomique. Cette chambre de réaction comprend des parois extérieures (2, 4; 40, 42, 44, 46) permettant de réaliser un espace de réaction à l'intérieur de la chambre de réaction. Selon l'invention, l'une au moins des parois extérieures (2, 4; 40, 42, 44, 46) de la chambre de réaction est en tôle mince souple.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : finnois (FI)