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1. (WO2010087668) STRUCTURE DE SONDE ET CARTE DE SONDE LA COMPORTANT

Pub. No.:    WO/2010/087668    International Application No.:    PCT/KR2010/000602
Publication Date: 5 août 2010 International Filing Date: 1 févr. 2010
IPC: H01L 21/66
G01R 31/26
Applicants: MICO TN LTD.
주식회사 미코티엔
LEE, Ho-Jun
이호준
LEE, So-Hyeong
이소형
Inventors: LEE, Ho-Jun
이호준
LEE, So-Hyeong
이소형
Title: STRUCTURE DE SONDE ET CARTE DE SONDE LA COMPORTANT
Abstract:
La présente invention porte sur : une partie de fixation fixée sur le tampon d'un substrat de sonde; une première partie de colonne liée à la partie de fixation au moyen d'une structure dressée; une première partie de poutre liée à la partie de colonne au moyen d'une structure en porte-à-faux; une seconde partie de colonne liée à la pointe de la première partie de poutre au moyen d'une structure dressée; une seconde partie de poutre liée à la seconde partie de colonne, dans la direction de la partie de fixation, au moyen d'une structure en porte-à-faux; et une partie de contact qui est liée à la pointe de la seconde partie de poutre au moyen d'une structure dressée, et qui effectue un contact avec un corps de test lorsqu'un test électrique est réalisé. En conséquence, bien que la distance horizontale entre la position de fixation et la position de contact soit relativement courte, une pression de contact uniforme est formée tout en permettant en même temps d'assurer une résilience suffisante et d'allonger la durée de vie.