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1. (WO2010087391) PROCÉDÉ DE MESURE SANS CONTACT DE FORME DE SURFACE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/087391    N° de la demande internationale :    PCT/JP2010/051102
Date de publication : 05.08.2010 Date de dépôt international : 28.01.2010
CIB :
G01B 11/24 (2006.01), G01C 3/06 (2006.01)
Déposants : Mitaka Kohki Co., Ltd. [JP/JP]; 1-18-8, Nozaki, Mitaka-shi, Tokyo 1810014 (JP) (Tous Sauf US).
MIURA, Katsuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROSE, Hajime [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOTAJIMA, Hideo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TSUKAMOTO, Takao [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ISHIMA, Minoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MIURA, Katsuhiro; (JP).
HIROSE, Hajime; (JP).
KOTAJIMA, Hideo; (JP).
TSUKAMOTO, Takao; (JP).
ISHIMA, Minoru; (JP)
Mandataire : MIYOSHI, Hidekazu; Toranomon Kotohira Tower, 2-8, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
2009-021903 02.02.2009 JP
Titre (EN) METHOD FOR NONCONTACT MEASUREMENT OF SURFACE SHAPE AND DEVICE THEREOF
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE SANS CONTACT DE FORME DE SURFACE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(JA) 非接触表面形状測定方法およびその装置
Abrégé : front page image
(EN)Even if return light (L') from a work to be measured (1) does not match with the center of a two-section sensor (S), when a voltage difference between the two sensors (a, b) of the two-section sensor (S) falls within a vicinal range, the amount of movement of an objective lens means (4) until the objective lens means (4) is focused (until the return light (L') coincides with the center of the two-section sensor) can be computed by computing a correction value from the voltage difference and adding the correction value to the actual vertical position of the objective lens (4).
(FR)Selon l'invention, même si une lumière de retour (L') provenant d'une pièce à travailler devant être mesurée (1) ne correspond pas au centre d'un détecteur à deux sections (S), lorsqu'une différence de tension entre les deux détecteurs (a, b) du détecteur à deux sections (s) tombe dans une plage voisine, la quantité de mouvement d'un moyen formant lentille objectif (4) jusqu'à ce que le moyen de lentille objectif (4) soit focalisé (jusqu'à ce que la lumière de retour (L') coïncide avec le centre du détecteur à deux sections (L)) peut être calculée par calcul d'une valeur de correction à partir de la différence de tension et addition de la valeur de correction à la position verticale réelle de la lentille objectif (4).
(JA)測定ワーク(1)からの戻り光(L')が二分割センサー(S)の中心に合致しなくても、二分割センサー(S)の2つのセンサー(a、b)の電圧差が近傍範囲に入った際には、その電圧差から補正値を算出し、その補正値を対物レンズ(4)の実際の上下方向での位置に加算することにより、対物レンズ手段(4)がフォーカス状態になるまで(戻り光(L')が二分割センサーの中心に合致するまで)の移動量を算出することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)