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1. (WO2010087217) COMPLEXE DE CYCLOOCTATÉTRAÈNETRICARBONYLRUTHÉNIUM, SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM UTILISANT LE COMPLEXE EN TANT QUE MATIÈRE PREMIÈRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/087217    N° de la demande internationale :    PCT/JP2010/050127
Date de publication : 05.08.2010 Date de dépôt international : 08.01.2010
CIB :
C07F 15/00 (2006.01), C23C 16/18 (2006.01), C23C 16/40 (2006.01), H01L 21/28 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01), C07C 13/267 (2006.01)
Déposants : TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. [JP/JP]; Tokyo Building, 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006422 (JP) (Tous Sauf US).
SUZUKI Kazuharu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAITO Masayuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SUZUKI Kazuharu; (JP).
SAITO Masayuki; (JP)
Mandataire : KOHNO Naotaka; ARAI-YAMAMOTO & CO., Honcho Building, 5-14, Nihonbashihoncho 4-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2009-019426 30.01.2009 JP
Titre (EN) CYCLOOCTATETRAENETRICARBONYLRUTHENIUM COMPLEX, PROCESS FOR PRODUCING SAME, AND PROCESS FOR PRODUCING FILM USING THE COMPLEX AS RAW MATERIAL
(FR) COMPLEXE DE CYCLOOCTATÉTRAÈNETRICARBONYLRUTHÉNIUM, SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM UTILISANT LE COMPLEXE EN TANT QUE MATIÈRE PREMIÈRE
(JA) シクロオクタテトラエントリカルボニルルテニウム系錯体とその製造方法、ならびに、当該錯体を原料とする膜の製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A ruthenium compound which is suitable for chemical vapor deposition (CVD). A solution of a mixture of dodecacarbonyltriruthenium and a cyclooctatetraene compound is irradiated with light to thereby obtain a liquid cyclooctatetraenetricarbonylruthenium complex of formula (1). A satisfactory ruthenium film or ruthenium oxide film can be easily obtained by chemical vapor deposition using the complex as a raw material.
(FR)La présente invention concerne un composé de ruthénium qui est approprié au dépôt de vapeur chimique (DVC). Une solution d'un mélange de dodécacarbonyltriruthénium et d'un composé de cyclooctatétraène est irradiée à la lumière pour obtenir de cette manière un complexe de cyclooctatétraènetricarbonylruthénium liquide de formule (1). Il est possible d'obtenir facilement un film de ruthénium ou un film d'oxyde de ruthénium satisfaisant par dépôt de vapeur chimique en utilisant le complexe en tant que matière première .
(JA)【課題】 化学蒸着法(CVD法)に適したルテニウム化合物を提供する。 【解決手段】 ドデカカルボニルトリルテニウムとシクロオクタテトラエン類の混合溶液に光を照射することにより、下記式(1)の液体のシクロオクタテトラエントリカルボニルルテニウム錯体を得る。 【化7】当該錯体を原料とする化学蒸着法により良好なルテニウム膜や酸化ルテニウム膜を容易に得ることができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)