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1. (WO2010086796) SYSTÈME DE LEVAGE DE BROCHE

Pub. No.:    WO/2010/086796    International Application No.:    PCT/IB2010/050352
Publication Date: 5 août 2010 International Filing Date: 27 janv. 2010
IPC: H01L 21/687
H01L 21/02
Applicants: Lam Research Corporation
Lam Research AG
HAO, Fangli, J.
Inventors: HAO, Fangli, J.
Title: SYSTÈME DE LEVAGE DE BROCHE
Abstract:
Un aspect de la présente invention concerne un dispositif destiné à être utilisé avec un porte-substrat électrostatique présentant une surface supérieure et une surface inférieure, la surface supérieure étant séparée de la surface inférieure par une largeur. Le porte-substrat électrostatique contient en outre un trou, présentant une première largeur sur la surface supérieure et une seconde largeur sur la surface inférieure, la première largeur étant inférieure à la seconde largeur, et une tranche pouvant être agencée sur la surface supérieure. Le dispositif comprend une broche, une tige, une partie col et une partie de logement externe. La broche présente une largeur inférieure à la première largeur. La tige présente une partie de maintien de broche, une partie d'extrémité et une partie centrale agencée entre la partie de maintien de broche et la partie d'extrémité. La partie centrale présente une première partie de support. La partie de logement externe présente une première extrémité et une seconde extrémité et comprend une seconde partie de support. La tige est agencée dans la partie de logement externe et est mobile par rapport à la partie de logement externe. La partie col est agencée à la première extrémité. La seconde partie de support est stationnaire par rapport à la partie col. La première partie de support est mobile par rapport à la seconde partie de support.