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1. (WO2010086378) PROCEDE DE FORMATION DE NANO-FILS ET PROCEDE DE FABRICATION DE COMPOSANT OPTIQUE ASSOCIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/086378    N° de la demande internationale :    PCT/EP2010/051012
Date de publication : 05.08.2010 Date de dépôt international : 28.01.2010
CIB :
B82B 3/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), C30B 11/12 (2006.01), C30B 29/60 (2006.01)
Déposants : COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR/FR]; 25 rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" F-75015 Paris (FR) (Tous Sauf US).
NEEL, Delphine [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
FERRET, Pierre [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
GETIN, Stéphane [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : NEEL, Delphine; (FR).
FERRET, Pierre; (FR).
GETIN, Stéphane; (FR)
Mandataire : ILGART, Jean-Christophe; Brevalex 95, rue d'Amsterdam F-75378 Paris Cedex 8 (FR)
Données relatives à la priorité :
0950573 30.01.2009 FR
Titre (EN) METHOD FOR FORMING NANOWIRES AND ASSOCIATED METHOD FOR MANUFACTURING AN OPTICAL COMPONENT
(FR) PROCEDE DE FORMATION DE NANO-FILS ET PROCEDE DE FABRICATION DE COMPOSANT OPTIQUE ASSOCIE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a method for forming nanowires (nf) on the surface of a substrate (S) attached to a solid immersion lens, the method including a step of forming a catalyst element (P) on the surface of the substrate and a step of growing the nanowire (nf) using the catalyst element formed on the surface of the substrate (S), characterised in that the catalyst element is a metal nanoparticle (P) and in that the step of forming the catalyst element on the surface of the substrate comprises depositing the metal nanoparticle using a light beam focussed by the solid immersion lens on the surface of the substrate. The invention can be used in the field of microelectronics.
(FR)L' invention concerne un procédé de formation de nano-fil (nf) à la surface d'un substrat (S) fixé sur une lentille solide à immersion, le procédé comprenant une étape de formation d'un élément catalyseur (P) à la surface du substrat et une étape de croissance de nano-fil (nf) à partir de l'élément catalyseur formé à la surface du substrat (S), caractérisé en ce que l'élément catalyseur est une nano-particule métallique (P) et en ce que l'étape de formation de l'élément catalyseur à la surface du substrat consiste à déposer la nano-particule métallique à l'aide d'un faisceau lumineux focalisé par la lentille solide à immersion à la surface du substrat. Application à la microélectronique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)