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1. (WO2010083965) DISPOSITIF D'AMORTISSEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/083965    N° de la demande internationale :    PCT/EP2010/000200
Date de publication : 29.07.2010 Date de dépôt international : 15.01.2010
CIB :
G02B 7/02 (2006.01), F16F 15/023 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G02B 27/64 (2006.01), F16F 7/10 (2006.01), F16F 15/02 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
VOGLER, Alexander [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
RIEF, Klaus [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FROMMEYER, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BRYDON, Alan, L. [GB/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : VOGLER, Alexander; (DE).
RIEF, Klaus; (DE).
FROMMEYER, Andreas; (DE).
BRYDON, Alan, L.; (DE)
Mandataire : RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER; Kronenstrasse 30 70174 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2009 005 954.7 20.01.2009 DE
Titre (EN) DAMPING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'AMORTISSEMENT
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a damping device of an optical element (1) of a projection exposure machine, comprising at least two mass dampers (3), arranged spaced apart from one another, the vibration absorbers (3) each having at least one damper mass (30) and at least one damping element (32) and the damper masses (30) of the at least two mass dampers (3) being interconnected by means of at least one connecting element. The invention further relates to an optical element (1) of a projection exposure machine and to a projection exposure machine.
(FR)L'invention porte sur un dispositif d'amortissement d'un élément optique (1) d'une machine d'exposition par projection, le dispositif comprenant au moins deux amortisseurs de vibrations (3), disposés de façon espacée l'un de l'autre, les amortisseurs de vibrations (3) ayant chacun au moins une masse d'amortisseur (30) et au moins un élément d'amortissement (32), et les masses d'amortisseur (30) des au moins deux amortisseurs de vibrations (3) étant interconnectés au moyen d'au moins un élément de liaison. L'invention porte en outre sur un élément optique (1) d'une machine d'exposition par projection et sur une machine d'exposition par projection.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)