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1. (WO2010082490) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR LE VIDE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES ET PROGRAMME DE TRAITEMENT PAR LE VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/082490    N° de la demande internationale :    PCT/JP2010/000174
Date de publication : 22.07.2010 Date de dépôt international : 14.01.2010
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : CANON ANELVA CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (Tous Sauf US).
SHIRAI, Yasuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Katuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HOTTA, Kazuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIRAI, Yasuyuki; (JP).
SUZUKI, Katuhiro; (JP).
HOTTA, Kazuki; (JP)
Mandataire : OHTSUKA, Yasunori; 7th Fl., Kioicho Park Bldg., 3-6, Kioicho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020094 (JP)
Données relatives à la priorité :
2009-005955 14.01.2009 JP
Titre (EN) VACUUM PROCESSING DEVICE, ELECTRONIC COMPONENT MANUFACTURING METHOD AND VACUUM PROCESSING PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR LE VIDE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES ET PROGRAMME DE TRAITEMENT PAR LE VIDE
(JA) 真空処理装置、電子部品の製造方法及び真空処理プログラム
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a vacuum processing device which is provided with a transport chamber that is provided with a substrate transport robot having fingers that can hold a substrate and a substrate transport port for the robot to transport substrates in and out, a chassis that is detachably connected to the substrate transport port, has an opening that communicates with the interior of the transport chamber and forms an internal space that is sealed from the outside, a sensing port that is provided with a displacement sensor for detecting changes in the shapes of the fingers that are inserted into the internal space, an exhaust unit that evacuates the air from the transport chamber and chassis interior via an exhaust port provided in the transport chamber, and a control unit that obtains the result detected by the displacement sensor for the shapes of the fingers inserted into the internal space of the chassis in the state in which pressure in the transport chamber and chassis interior is reduced by the exhaust unit.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement par le vide qui comporte une chambre de transport qui comporte un robot de transport de substrat ayant des doigts pouvant tenir un substrat et un port de transport de substrat au niveau duquel le robot fait entrer et sortir des substrats, un châssis qui est raccordé de manière amovible au port de transport de substrat, a une ouverture qui communique avec l'intérieur de la chambre de transport et forme un espace interne qui est séparé de l'extérieur, un port de détection qui comporte un capteur de déplacement permettant de détecter des changements dans les formes des doigts qui sont insérés dans l'espace interne, une unité d'échappement qui évacue l'air en provenance de la chambre de transport et de l'intérieur du châssis par le biais d'un port d'échappement mis en œuvre dans la chambre de transport, et une unité de commande qui obtient le résultat détecté par le capteur de déplacement concernant les formes des doigts insérés dans l'espace interne du châssis dans l'état dans lequel la pression dans la chambre de transport et dans l'intérieur du châssis est réduite par l'unité d'échappement.
(JA) 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、基板搬送口に着脱可能に接続され、搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、内部空間に挿入されるフィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、搬送チャンバに設けられる排気口を介して、搬送チャンバ及び筐体内部を排気する排気ユニットと、排気ユニットにより搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の変位センサによる検出結果を取得する制御ユニットと、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)