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1. (WO2010082300) DISPOSITIF DE TRANSFERT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/082300    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/050315
Date de publication : 22.07.2010 Date de dépôt international : 13.01.2009
CIB :
H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : Pioneer Corporation [JP/JP]; 1-1 Shin-ogura, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120031 (JP) (Tous Sauf US).
IMAI, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUJIWARA, Chikashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OHTA, Keisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IMAI, Tetsuya; (JP).
FUJIWARA, Chikashi; (JP).
OHTA, Keisuke; (JP)
Mandataire : FUJIMURA, Motohiko; FUJIMURA PATENT BUREAU Togeki-Bldg. 1-1, Tsukiji 4-chome Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) TRANSFER DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT
(JA) 転写装置
Abrégé : front page image
(EN)A transfer device is provided with a support mechanism driving means for moving a support mechanism for supporting a transferred body and an irradiation means for irradiating an energy beam toward the surface of the transferred body. In the device, one of the light irradiation means or the support mechanism driving means is made movable toward a use position according to the progress of a pattern transfer process.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de transfert qui comporte un moyen d'entraînement de mécanisme de support pour déplacer un mécanisme de support pour supporter un corps transféré et un moyen d'irradiation pour irradier un faisceau d'énergie vers la surface du corps transféré. Dans le dispositif, l'un du moyen d'irradiation de lumière ou du moyen d'entraînement du mécanisme de support est rendu mobile vers une position d'utilisation selon la progression d'un processus de transfert de motif.
(JA) 被転写体を支持する支持機構を移動させる支持機構駆動手段と、被転写体の表面に向けてエネルギー線を照射する照射手段とが設置される装置において、パターン転写処理の進捗に応じて、光照射手段及び支持機構駆動手段のいずれか1つを使用位置に移動可能にする。 
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)