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1. (WO2010080495) COMPOSITION DE BOUILLIE CONTENANT UN POLYMÈRE NON IONIQUE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/080495    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/068466
Date de publication : 15.07.2010 Date de dépôt international : 17.12.2009
CIB :
C09K 3/14 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION [US/US]; 870 North Commons Drive Aurora, IL 60504 (US)
Inventeurs : GRUMBINE, Steven; (US).
NAM, Chul-Woo; (US).
WARD, William; (US).
NAGARAJAN, Ramasubramanyam; (US)
Mandataire : WESEMAN, Steven; Legal Department Cabot Microelectronics Corporation 870 N. Commons Dr. Aurora, IL 60504 (US)
Données relatives à la priorité :
12/317,254 19.12.2008 US
Titre (EN) SLURRY COMPOSITION CONTAINING NON-IONIC POLYMER AND METHOD FOR USE
(FR) COMPOSITION DE BOUILLIE CONTENANT UN POLYMÈRE NON IONIQUE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN)A wiresaw cutting fluid composition of the present invention comprises 25 to 75 % by weight of a particulate abrasive suspended in an aqueous carrier containing a polymeric viscosity modifier that comprises a polymer including a majority of non-ionic monomer units (preferably 100 mol % non-ionic monomer units), has a number average molecular weight (Mn) of at least 5 kDa, and is present in the composition at a concentration sufficient to provide a Brookfield viscosity for the composition in the range of 50 to 1000 cP, e.g., 50 to 700 cP, at 25 °C at a spindle rotation rate of 60 rpm. In one embodiment, the viscosity modifier comprises a polymer having a weight average molecular weight (Mw) of at least 200 kDa. When a viscosity modifier of 200 kDa or greater Mw is utilized, a preferred wiresaw cutting method the cutting fluid is circulated and applied by pumps and nozzles operating at a relatively low shear rate of not more than 104 s-1.
(FR)Une composition de fluide de coupe de scie à fil de la présente invention comprend 25 à 75 % en poids d'un abrasif particulaire en suspension dans un véhicule aqueux contenant un modificateur de viscosité polymère qui comprend un polymère comprenant une majorité d'unités monomères non ioniques (de préférence 100 % en moles d'unités monomères non ioniques), possède une masse moléculaire moyenne en nombre (Mn) d'au moins 5 kDa, et est présent dans la composition à une concentration suffisante pour fournir une viscosité Brookfield pour la composition dans la plage de 50 à 1 000 cP, par exemple, 50 à 700 cP, à 25°C à une vitesse de rotation de broche de 60 tpm. Dans un mode de réalisation, le modificateur de viscosité comprend un polymère ayant une masse moléculaire moyenne en poids (Mw) d'au moins 200 kDa. Lorsqu'un modificateur de viscosité de 200 kDa ou d'une Mw supérieure est utilisée, un procédé de coupe de scie à fil préféré prévoit que le fluide de coupe soit amené à circuler et appliqué par des pompes et buses fonctionnant à une vitesse de cisaillement relativement faible de pas plus de 104 s-1.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)