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1. (WO2010072279) PROCÉDÉ DESTINÉ À DÉTERMINER UNE FORME DE RÉPARATION D'UN DÉFAUT SUR OU À PROXIMITÉ D'UN BORD D'UN SUBSTRAT D'UN PHOTOMASQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/072279    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/006908
Date de publication : 01.07.2010 Date de dépôt international : 24.09.2009
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.10.2010    
CIB :
G01Q 40/02 (2010.01), G03F 1/00 (2012.01)
Déposants : CARL ZEISS SMS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena (DE) (Tous Sauf US).
BUDACH, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BUDACH, Michael; (DE)
Mandataire : WEGNER, Hans; Bardehle, Pagenberg, Dost, Altenburg, Geissler Galileiplatz 1 81679 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 062 928.6 23.12.2008 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINER REPARATURFORM EINES DEFEKTS AN ODER IN DER NÄHE EINER KANTE EINES SUBSTRATS EINER PHOTOMASKE
(EN) METHOD FOR DETERMINING A REPAIR SHAPE OF A DEFECT ON OR IN THE VICINITY OF AN EDGE OF A SUBSTRATE OF A PHOTOMASK
(FR) PROCÉDÉ DESTINÉ À DÉTERMINER UNE FORME DE RÉPARATION D'UN DÉFAUT SUR OU À PROXIMITÉ D'UN BORD D'UN SUBSTRAT D'UN PHOTOMASQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln einer Reparaturform (60, 260) eines Defekts (30, 200) an oder in der Nähe einer Kante (32, 232) eines Substrats (100) mit den Verfahrensschritten des Scannens des Defekts (30, 200) mit einem Rastersondenmikroskop zum Bestimmen einer dreidimensionalen Kontur (40, 240) des Defekts (30, 200), des Scannens des Defekts (30, 200) mit einem Rasterteilchenmikroskop zum Bestimmen des Verlaufs (50, 250) der zumindest einen Kante (32, 232) des Substrats (100) und des Ermitteins der Reparaturform (60, 260) des Defekts (30, 200) aus einer Kombination der dreidimensionalen Kontur (40, 240) und dem Verlauf (50, 250) der zumindest einen Kante (32, 232).
(EN)The invention relates to a method for determining a repair shape (60, 260) of a defect (30, 200) on or in the vicinity of an edge (32, 232) of a substrate (100), comprising the steps of scanning the defect (30, 200) using a scanning probe microscope for determining a three-dimensional contour (40, 240) of the defect (30, 200), scanning the defect (30, 200) using a scanning electron microscope for determining the course (50, 250) of the at least one edge (32, 232) of the substrate (100), and determining the repair shape (60, 260) of the defect (30, 200) from a combination of the three-dimensional contour (40, 240) and the course (50, 250) of the at least one edge (32, 232).
(FR)L'invention concerne un procédé destiné à déterminer une forme de réparation (60, 260) d'un défaut (30, 200) sur ou à proximité d'un bord (32, 232) d'un substrat (100) comprenant les étapes du balayage du défaut (30, 200) avec un microscope à sonde à balayage afin de déterminer un contour en trois dimensions (40, 240) du défaut (30, 200), du balayage du défaut (30, 200) avec un microscope électronique à balayage pour déterminer le tracé (50, 250) de ce bord (32, 232) du substrat (100) et de la détermination de la forme de réparation (60, 260) du défaut (30, 200) à partir d'une combinaison du contour en trois dimensions (40, 240) et du tracé (50, 250) de ce bord (32, 232).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)