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1. WO2010026817 - VIBRATEUR À DIAPASON, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE

Numéro de publication WO/2010/026817
Date de publication 11.03.2010
N° de la demande internationale PCT/JP2009/060738
Date du dépôt international 12.06.2009
CIB
G01C 19/5607 2012.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5607utilisant des diapasons vibrants
G01C 19/5628 2012.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5607utilisant des diapasons vibrants
5628Fabrication; Ajustage; Montage; Boîtiers
H03H 9/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
02Détails
H03H 9/19 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
15Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
17ayant un résonateur unique
19en quartz
H03H 9/215 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
15Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
21Diapasons à cristal
215de quartz
CPC
G01C 19/5607
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5607using vibrating tuning forks
G01C 19/5628
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5607using vibrating tuning forks
5628Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
H03H 9/0542
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
05Holders; Supports
0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
0542consisting of a lateral arrangement
H03H 9/0547
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
05Holders; Supports
0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
0547consisting of a vertical arrangement
H03H 9/21
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
15Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
21Crystal tuning forks
Y10T 29/42
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
29Metal working
42Piezoelectric device making
Déposants
  • 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 小栗 慎也 OGURI, Shinya [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 多保田 純 TABOTA, Jun [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小池 雅人 KOIKE, Masato [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 清原 友彦 KIYOHARA, Tomohiko [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 小栗 慎也 OGURI, Shinya
  • 多保田 純 TABOTA, Jun
  • 小池 雅人 KOIKE, Masato
  • 清原 友彦 KIYOHARA, Tomohiko
Mandataires
  • 岡田 全啓 OKADA, Masahiro
Données relatives à la priorité
2008-22456802.09.2008JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) TUNING-FORK VIBRATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ANGULAR SPEED SENSOR
(FR) VIBRATEUR À DIAPASON, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
(JA) 音叉型振動子とその製造方法および角速度センサ
Abrégé
(EN)
Provided is a tuning-fork vibrator exhibiting good insulation reliability at the time of mounting on a circuit board, and having a high vibrator sensitivity and a high S/N ratio. A piezoelectric vibrator (70, 72) includes a tuning-fork vibrator (78) having a base (74) and legs (76a, 76b).  The piezoelectric vibrator (70, 72) is formed as a laminate of two piezoelectric substrates (80, 82), an intermediate electrode (84), surface electrodes (86, 88, 90), and a whole surface electrode (94).  The surface electrodes (86, 88, 90) are divided by division portions (92a, 92b) extending from the base (74) to the legs (76a, 76b).  The division portions (92a, 92b) are formed wider at portions joining to a circuit board than at the other portions.  The division portions (92a, 92b) are formed by dividing an electrode formed on the whole surface of a piezoelectric plate constituting the vibrator (78) by means of a dicer, or by dividing the electrode by means of laser irradiation or etching.
(FR)
L'invention porte sur un vibrateur à diapason présentant une bonne fiabilité d'isolation au moment du montage sur une carte de circuit, et ayant une sensibilité de vibrateur élevée et un rapport signal sur bruit élevé. Un vibrateur piézoélectrique (70, 72) comprend un vibrateur à diapason (78) pourvu d’une base (74) et de jambes (76a, 76b). Le vibrateur piézoélectrique (70, 72) est constitué d’un stratifié de deux substrats piézoélectriques (80, 82), d’une électrode intermédiaire (84), d’électrodes de surface (86, 88, 90) et d’une électrode de surface entière (94). Les électrodes de surface (86, 88, 90) sont divisées en parties de division (92a, 92b) s'étendant de la base (74) jusqu'aux jambes (76a, 76b). Les parties de division (92a, 92b) sont plus larges au niveau de parties reliant une carte de circuit qu'au niveau des autres parties. Les parties de division (92a, 92b) sont élaborées par division d'une électrode formée sur la surface entière d'une plaque piézoélectrique constituant le vibrateur (78) au moyen d'un diviseur, ou par division de l'électrode au moyen d’un rayonnement laser ou d’une gravure.
(JA)
 回路基板に実装する際の絶縁信頼性が良好で、かつ振動子感度が高く、S/N比の良好な音叉型振動子と、その効率的な製造方法を得る。  圧電振動子70,72は、基台部74と脚部76a,76bとを有する音叉型の振動体78を含む。また、圧電振動子70,72は、2つの圧電体基板80,82、中間電極84、表面電極86,88,90および全面電極94の積層体として形成される。表面電極86,88,90は、基台部74から脚部76a,76bに延びる分割部92a,92bで分割されている。回路基板との接続部分における分割部92a,92bの幅は、他の部分における分割部92a,92bの幅より広くなるように形成される。分割部92a,92bは、振動体78を構成するための圧電体板上の全面に形成された電極をダイサーで分割したり、レーザー照射やエッチングによって分割することにより形成される。
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