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1. WO2010024488 - DISPOSITIF D’ALIMENTATION EN LIQUIDE CHIMIQUE

Numéro de publication WO/2010/024488
Date de publication 04.03.2010
N° de la demande internationale PCT/KR2008/005329
Date du dépôt international 10.09.2008
CIB
H01L 21/304 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du groupe IV de la classification périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
302pour changer leurs caractéristiques physiques de surface ou leur forme, p.ex. gravure, polissage, découpage
304Traitement mécanique, p.ex. meulage, polissage, coupe
CPC
F04B 43/0045
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
43Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
0009Special features
0045with a number of independent working chambers which are actuated successively by one mechanism
F04B 43/0063
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
43Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
0009Special features
0054particularities of the flexible members
0063bell-shaped flexible members
Y10T 137/86139
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
85978With pump
86131Plural
86139Serial
Déposants
  • C&G HI TECH CO., LTD [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • HONG, Sa Mun [KR]/[KR] (UsOnly)
  • KIM, Hyung Il [KR]/[KR] (UsOnly)
Inventeurs
  • HONG, Sa Mun
  • KIM, Hyung Il
Mandataires
  • SESHIN Patent & Law Firm
Données relatives à la priorité
10-2008-008489329.08.2008KR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) CHEMICAL LIQUID FEEDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’ALIMENTATION EN LIQUIDE CHIMIQUE
Abrégé
(EN)
The present invention relates to a chemical liquid feeding device for feeding chemical liquid required in a semiconductor fabrication process, which includes three or more pumps arranged in a line, each pump having different time points of suction stroke and discharge stroke from one another so that the chemical liquid can be fed uniformly without pulsation.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d’alimentation en liquide chimique servant à injecter le liquide chimique nécessaire dans un processus de fabrication de semi-conducteurs, qui comprend trois pompes ou plus disposées en ligne, chaque pompe présentant des points temporels de la phase d’aspiration et de la phase de décharge différents les uns des autres afin que le liquide chimique puisse être injecté uniformément sans pulsation.
Également publié en tant que
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