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1. (WO2010022309) SYSTÈME TAMPON DE SUBSTRAT VERTICAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/022309    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/054577
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 21.08.2009
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
MERRY, Nir [US/US]; (US) (US Seulement).
NEWMAN, Jacob [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MERRY, Nir; (US).
NEWMAN, Jacob; (US)
Mandataire : TABOADA, Alan; Moser IP Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, NJ 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
12/196,982 22.08.2008 US
Titre (EN) VERTICAL SUBSTRATE BUFFERING SYSTEM
(FR) SYSTÈME TAMPON DE SUBSTRAT VERTICAL
Abrégé : front page image
(EN)A substrate buffering system is provided herein. In some embodiments, a substrate buffering system may include a frame having a vertical shaft disposed therethrough; two storage platforms, one each disposed on either side of the frame, each to receive a substrate carrier thereon; and a transfer mechanism coupled to the vertical shaft and capable of vertical movement along the vertical shaft and lateral movement sufficient to move the transfer mechanism over either of the two storage platforms. The transfer mechanism may further include a telescoping fork arm capable of laterally extending in a first direction and in a second direction corresponding to lateral positions of the two storage platforms on either side of the frame. In some embodiments, the substrate may be a wafer. In some embodiments, the substrate may be a semiconductor wafer.
(FR)La présente invention concerne un système tampon de substrat. Dans certains modes de réalisation, un tel système peut comprendre un châssis à travers lequel est disposé un arbre vertical; deux plateformes de stockage, chacune étant disposée sur l'un ou l'autre côté du châssis, chacune pour recevoir sur celle-ci un support de substrat; un mécanisme de transfert couplé à l'arbre vertical et pouvant être animé d'un mouvement vertical le long de l'arbre vertical et d'un mouvement latéral qui sont des mouvements suffisants pour déplacer le mécanisme de transfert sur l'une ou l'autre des deux plateformes de stockage. Le mécanisme de transfert peut en outre inclure un bras de fourche télescopique pouvant s'étendre latéralement dans une première direction et dans une seconde direction correspondant à des positions latérales des deux plateformes de stockage sur l'un ou l'autre côté du châssis. Dans certains modes de réalisation, le substrat peut être une plaquette. Dans d'autres, il peut s'agir d'une plaquette semi-conductrice.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)