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1. (WO2010022212) CHICANE EN NITRURE D'ALUMINIUM TRAITÉE EN SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/022212    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/054416
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 20.08.2009
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
RASHEED, Muhammad, M. [US/US]; (US) (US Seulement).
LUBOMIRSKY, Dmitry [IL/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : RASHEED, Muhammad, M.; (US).
LUBOMIRSKY, Dmitry; (US)
Mandataire : TABOADA, Alan; Moser IP Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, NJ 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
12/195,127 20.08.2008 US
Titre (EN) SURFACE TREATED ALUMINUM NITRIDE BAFFLE
(FR) CHICANE EN NITRURE D'ALUMINIUM TRAITÉE EN SURFACE
Abrégé : front page image
(EN)Methods and apparatus relating to aluminum nitride baffles are provided herein. In some embodiments, a baffle for use in semiconductor process chambers may include a body comprising aluminum nitride and a metal oxide binding agent, wherein a ratio of aluminum nitride to metal oxide on a surface of the body is greater than or equal to the ratio within the body. In some embodiments, the body may have a center stem and an outer annulus coupled to and extending radially outwards from a lower portion of the center stem. In some embodiments, a method of fabricating a baffle may include sintering aluminum, nitrogen, and a metal oxide binding agent to form a body of the baffle, the body having excess metal oxide binding agent disposed on a surface thereof; and removing a bulk of the excess metal oxide binding agent from a surface of the body.
(FR)L'invention concerne des procédés et des appareils en rapport avec des chicanes en nitrure d'aluminium. Dans certains modes de réalisation, une chicane utilisable dans les chambres de traitement de semi-conducteurs peut comprendre un corps comprenant du nitrure d'aluminium et un agent liant à base d'oxyde métallique, le rapport entre le nitrure d'aluminium et l'oxyde métallique sur la surface du corps étant supérieur ou égal au rapport à l'intérieur du corps. Dans certains modes de réalisation, le corps peut avoir une tige centrale et un espace annulaire couplé à une partie inférieure de la tige centrale et se prolongeant radialement vers l'extérieur à partir de cette partie inférieure de la tige centrale. Dans certains modes de réalisation, un procédé de fabrication d'une chicane peut comprendre le frittage d'aluminium, d'azote et d'un agent liant à base d'oxyde métallique pour former un corps de la chicane, le corps présentant un excès d'agent liant à base d'oxyde métallique déposé sur l'une de ces surfaces; et l'élimination d'une partie de l'agent liant à base d'oxyde métallique en excès d'une surface du corps.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)