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1. (WO2010021890) ANNEAUX PÉRIPHÉRIQUES POUR MANDRINS ÉLECTROSTATIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/021890    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/053579
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 12.08.2009
CIB :
H05H 1/34 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
KENWORTHY, Ian, Jared [US/US]; (US) (US Seulement).
FONG, Kelly [US/US]; (US) (US Seulement).
KELLOGG, Michael, C. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : KENWORTHY, Ian, Jared; (US).
FONG, Kelly; (US).
KELLOGG, Michael, C.; (US)
Mandataire : MCCRACKIN, Ann, M.; Schwegman, Lundberg & Woessner, P.A. P.O. Box 2938 Minneapolis, MN 55402 (US)
Données relatives à la priorité :
61/090,182 19.08.2008 US
Titre (EN) EDGE RINGS FOR ELECTROSTATIC CHUCKS
(FR) ANNEAUX PÉRIPHÉRIQUES POUR MANDRINS ÉLECTROSTATIQUES
Abrégé : front page image
(EN)A disclosed device for use with an electrostatic chuck configured to hold a substrate in a plasma environment comprises an edge ring configured to be placed either in contact with portions of only a ceramic top piece, a base plate, or coupled to the base plate through a plurality of pins and pin slots. The edge ring is further configured to be concentric with the ceramic top piece. In one embodiment, the edge ring includes an inner edge having an edge step arranged to provide mechanical coupling between the edge ring and the outer periphery of the ceramic top piece. The edge ring further includes an outer edge and a flat portion located between the inner edge and the outer edge. The flat portion is arranged to be both horizontal when the edge ring is placed around the outer periphery of the ceramic top piece and parallel to the substrate.
(FR)L’invention porte sur un dispositif destiné à être utilisé avec un mandrin électrostatique conçu pour maintenir un substrat dans un environnement de plasma, ledit dispositif comprenant un anneau périphérique conçu pour être placé en contact avec des parties d'une pièce supérieure en céramique uniquement, ou plaque de base, ou pour être relié à la plaque de base par l’intermédiaire d’une pluralité de broches et de fentes de broche. L’anneau périphérique est également conçu pour être concentrique à la pièce supérieure en céramique. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'anneau périphérique comprend un bord interne présentant un gradin périphérique conçu pour assurer un couplage mécanique entre l’anneau périphérique et la périphérie externe de la pièce supérieure en céramique. L’anneau périphérique comprend également un bord externe et une partie plate située entre le bord interne et le bord externe. La partie plate est conçue de façon à être à la fois horizontale, lorsque l'anneau périphérique est placé autour de la périphérie externe de la pièce supérieure en céramique, et parallèle au substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)