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1. (WO2010021380) CAPTEUR BAROMÉTRIQUE DE TYPE À CONDUCTION DE CHALEUR UTILISANT L'EXCITATION THERMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/021380    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/064658
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 21.08.2009
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.06.2010    
CIB :
G01L 21/14 (2006.01)
Déposants : KIMURA, Mitsuteru [JP/JP]; (JP)
Inventeurs : KIMURA, Mitsuteru; (JP)
Mandataire : FUKUMORI, Hisao; 2F, Fuji Building 5-11, Kudanminami 4-chome Chiyoda-ku Tokyo 1020074 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-214713 22.08.2008 JP
Titre (EN) HEAT CONDUCTION-TYPE BAROMETRIC SENSOR UTILIZING THERMAL EXCITATION
(FR) CAPTEUR BAROMÉTRIQUE DE TYPE À CONDUCTION DE CHALEUR UTILISANT L'EXCITATION THERMIQUE
(JA) 加熱励振を利用した熱伝導型気圧センサ
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a heat conduction-type barometric sensor (utilizing thermal excitation) for the measurement of a high bandwidth barometric pressure with high sensitivity and high accuracy that has simple structure and circuit configuration and can measure a barometric pressure in the range of a very low barometric pressure to 1 atm or higher using one sensor chip. The heat conduction-type barometric sensor comprises a cantilever-shaped thin film (10) provided with a thin-film temperature sensor, a heating means, and an excitation means.  The excitation means utilizes warpage and bending based on a difference in thermal expansion between two main layers constituting the thin film during intermittent heating by a thin-film heater as the heating means, and the two main layers are a silicon layer and a thermally oxidized film of silicon which are significantly different from each other in the coefficient of thermal expansion.  A circuit in which the sensitivity is enhanced by the integration of a Seebeck current for a predetermined period of time, and a cap which can suppress the influence of an air stream can be also provided.
(FR)L'invention concerne un capteur barométrique de type à conduction de chaleur (utilisant l'excitation thermique) pour la mesure d'une pression barométrique à large bande passante avec une grande sensibilité et précision, qui a une structure et une configuration de circuit simples, et qui peut mesurer une pression barométrique dans la gamme allant d'une très basse pression barométrique jusqu'à 1 atm ou plus élevée à l'aide d'une puce capteur. Le capteur barométrique de type à conduction de chaleur comporte un film fin en forme de cantilever (10) pourvu d’un capteur de température à film fin, d’un moyen de chauffage et d’un moyen d'excitation. Le moyen d'excitation utilise la déformation et la flexion en fonction d’une différence de dilatation thermique entre deux couches principales constituant le film fin au cours du chauffage intermittent par un élément chauffant de film fin comme moyen de chauffage, et les deux couches principales sont une couche de silicium et un film de silicium oxydé thermiquement qui sont significativement différents l'un de l'autre en termes de coefficient de dilatation thermique. Un circuit dans lequel la sensibilité est augmentée par l'intégration d'un courant Seebeck pour une période de temps prédéterminée, et une couverture qui peut supprimer l'influence d’un courant d'air peuvent également être prévus.
(JA) 単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の(加熱励振を利用した)熱伝導型気圧センサを提供する。 カンチレバ状の薄膜10に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)