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1. (WO2010021173) DISPOSITIF DE CONNEXION DE FIL ET PROCÉDÉ DE MESURE D'AMPLITUDE D'UN CAPILLAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/021173    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/055706
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 23.03.2009
CIB :
H01L 21/607 (2006.01), G01B 11/02 (2006.01), H01L 21/60 (2006.01)
Déposants : SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585 (JP) (Tous Sauf US).
ENOKIDO, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ENOKIDO, Satoshi; (JP)
Mandataire : YOSHIDA, Kenji; 34-12, Kichijoji-honcho 1-chome, Musashino-shi, Tokyo, 1800004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-211363 20.08.2008 JP
Titre (EN) WIRE BONDING DEVICE AND METHOD FOR MEASURING AMPLITUDE OF CAPILLARY
(FR) DISPOSITIF DE CONNEXION DE FIL ET PROCÉDÉ DE MESURE D'AMPLITUDE D'UN CAPILLAIRE
(JA) ワイヤボンディング装置及びキャピラリの振幅測定方法
Abrégé : front page image
(EN)A wire bonding device comprises a first outline acquisition means for acquiring the outline of an image of a capillary in a stationary state, a second outline acquisition means for oscillating the capillary under a no-load state, acquiring the image of the capillary being oscillated using an image pickup device, detecting the gray level of each pixel in the image thus acquired, selecting a first pixel having a gray level smaller than a preset threshold and a second pixel having a gray level larger than the preset threshold and adjoining the first pixel, calculating the coordinate position of a point, on the image, corresponding to the threshold of a gray level on a subpixel basis by interpolating the gray levels of the first and second pixels and acquiring the outline of the image of the capillary being oscillated, and an amplitude calculation means for calculating the amplitude of the capillary from the difference between the outline of the image of the capillary in a stationary state and the outline of the image of the capillary being oscillated. Consequently, precision with which to measure the amplitude of a capillary can be enhanced by a simple method in the wire bonding device.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de connexion de fil qui comporte un premier moyen d'acquisition de contour pour acquérir le contour d'une image d'un capillaire dans un état stationnaire, un second moyen d'acquisition de contour pour faire osciller le capillaire dans un état sans charge, pour acquérir l'image du capillaire qui est amené à osciller à l'aide d'un dispositif de capture d'image, pour détecter le  niveau de gris de chaque pixel dans l'image ainsi acquise, pour  sélectionner un premier pixel ayant un niveau de gris inférieur à un seuil prédéterminé et un second pixel ayant un niveau de gris supérieur au seuil prédéterminé et adjacent au premier pixel, pour calculer la position de coordonnées d'un point sur l'image, correspondant au seuil d'un niveau de gris sur une base de sous-pixel par l'interpolation des niveaux de gris des premier et second pixels et l'acquisition du contour de l'image du capillaire qui est amené à osciller, et un moyen de calcul d'amplitude pour calculer l'amplitude du capillaire à partir de la différence entre le contour de l'image du capillaire dans un état stationnaire et le contour de l'image du capillaire qui est amené à osciller. Par conséquent, la précision avec laquelle on mesure l'amplitude d'un capillaire peut être améliorée par un procédé simple dans le dispositif de connexion de fil.
(JA) 静止中のキャピラリの画像の輪郭を取得する第1の輪郭取得手段と、キャピラリを無負荷状態で発振させ、発振中のキャピラリの画像を撮像素子で取得し、取得した画像の各ピクセルのグレーレベルを検出し、互いに隣接する予め設定された閾値よりも小さいグレーレベルの第1のピクセルと閾値よりも大きいグレーレベルの第2のピクセルとを選択し、第1のピクセルと第2のピクセルとのグレーレベルを補間してグレーレベルの閾値に対応する画像上の点の座標位置をサブピクセル単位で算出し、発振中のキャピラリの画像の輪郭を取得する第2の輪郭取得手段と、静止中のキャピラリの画像の輪郭と発振中のキャピラリの画像の輪郭との差からキャピラリの振幅を算出する振幅算出手段とを有する。これによってワイヤボンディング装置において、簡便な方法でキャピラリの振幅測定精度を向上させる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)