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1. (WO2010021012) DISPOSITIF DE DÉTECTION D'ÉLECTRONS ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/021012    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/002248
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 20.08.2008
CIB :
H01J 37/244 (2006.01)
Déposants : ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahi-cho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (Tous Sauf US).
KURATA, Tsuguo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KURATA, Tsuguo; (JP)
Mandataire : OKAMOTO, Keizo; OKAMOTO PATENT OFFICE Yamanishi Bldg., 4F 11-7, Nihonbashi Ningyo-cho 3-chome Chuo-ku, Tokyo 1030013 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ELECTRON DETECTION DEVICE AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION D'ÉLECTRONS ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Abrégé : front page image
(EN)An electron detection device including: one scintillator 31 having an opening through which an electron beam emitted from an electron gun passes; a plurality of photoguides 22 of the same shape, which are bonded to the scintillator and disposed symmetrically about an optical axis; and a photomultiplier tube which is connected to one side of each of the photoguides 22 at the far side of the optical axis, and converts light into electrical signals, the light being emitted by the scintillator 31 and received through the photoguide 22. The photoguides 22 are joined so' as to equally divide the scintillator 31 symmetrically around the optical axis. Moreover, a position and an area of a portion bonded to the scintillator 31, in each of the photoguides 22, are the same among the photoguides 22. Furthermore, the number of regions in the scintillator 31 divided by the plurality of photoguides 22 is at least two.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de détection d'électrons comprenant : un scintillateur (31) ayant une ouverture à travers laquelle passe un faisceau d'électrons émis à partir d'un canon à électrons ; une pluralité de photoguides (22) de la même forme, qui sont liés au scintillateur et disposés symétriquement autour d'un axe optique ; et un tube photomultiplicateur qui est connecté à un côté de chacun des photoguides (22) du côté éloigné de l'axe optique, et qui convertit la lumière en signaux électriques, la lumière étant émise par le scintillateur (31) et reçue à travers les photoguides (22). Les photoguides (22) sont liés de façon à diviser équitablement le scintillateur (31) de façon symétrique autour de l'axe optique. De plus, une position et une aire d'une partie liée au scintillateur (31), dans chacun des photoguides (22), sont identiques parmi les photoguides (22). De plus, le nombre de régions dans le scintillateur (31) divisées par la pluralité de photoguides (22) est d'au moins deux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)