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1. (WO2010020337) SUBSTRATS DE RÉTICULE POUR ULTRAVIOLET EXTRÊME À CONDUCTIVITÉ THERMIQUE ÉLEVÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/020337    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/005490
Date de publication : 25.02.2010 Date de dépôt international : 29.07.2009
CIB :
G03F 1/62 (2012.01), G03F 1/22 (2012.01)
Déposants : ASML HOLDING NV [NL/NL]; De Run 6501 NL- 5504 DR Veldhoven (NL) (Tous Sauf US).
WILKLOW, Ronald, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
NELSON, Michael, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
PERRY, Michael [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WILKLOW, Ronald, A.; (US).
NELSON, Michael, L.; (US).
PERRY, Michael; (US)
Mandataire : VAN DEN HOOVEN, Jan; De Run 6501 5504 DR Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/090,838 21.08.2008 US
Titre (EN) EUV RETICLE SUBSTRATES WITH HIGH THERMAL CONDUCTIVITY
(FR) SUBSTRATS DE RÉTICULE POUR ULTRAVIOLET EXTRÊME À CONDUCTIVITÉ THERMIQUE ÉLEVÉE
Abrégé : front page image
(EN)A reflective reticle substantially reduces or eliminates pattern distortion that results from the absorption of EUV radiation while maintaining a reticle thickness consistent with industry standards. The reflective reticle includes a layer of ultra-low expansion (ULE) glass and a substrate of Cordierite having a thermal conductivity substantially larger than that of ULE glass. An aluminum layer is disposed onto a first surface of the ULE glass and a second surface of the ULE glass is polished to be substantially flat and defect-free. The Cordierite substrate can be directly bonded to the aluminum layer using anodic bonding to form the reflective reticle. Alternatively, a first surface of an intermediate Zerodur layer can be bonded to the aluminum layer, and a second aluminum layer can be used to anodically bond the Cordierite substrate to a second surface of the Zerodur layer, thereby forming the reflective reticle.
(FR)L'invention porte sur un réticule réfléchissant qui réduit sensiblement ou élimine les distorsions de motif qui résultent de l'absorption d'un rayonnement ultraviolet extrême tout en maintenant une épaisseur de réticule conforme aux normes de l'industrie. Le réticule réfléchissant comprend une couche de verre à coefficient de dilatation ultra-faible (ULE) et un substrat de Cordiérite ayant une conductivité thermique sensiblement plus élevée que celle du verre ULE. Une couche d'aluminium est disposée sur une première surface du verre ULE et une seconde surface du verre ULE est polie pour être sensiblement plate et sans défaut. Le substrat de Cordiérite peut être directement lié à la couche d'aluminium par utilisation d'une liaison anodique de façon à former un réticule réfléchissant. En variante, une première surface d'une couche de Zerodur intermédiaire peut être liée à la couche d'aluminium, et une seconde couche d'aluminium peut être utilisée pour lier de façon anodique le substrat de Cordiérite à une seconde surface de la couche de Zerodur, ce qui forme le réticule réfléchissant.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)