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1. (WO2010019264) POLISSEUSE CHIMIQUE ET MÉCANIQUE POSSÉDANT DES DISTRIBUTEURS DE SUSPENSION ÉPAISSE MOBILES ET PROCÉDÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/019264    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/004667
Date de publication : 18.02.2010 Date de dépôt international : 14.08.2009
CIB :
H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
WANG, Yulin [--/US]; (US) (US Seulement).
YILMAZ, Alpay [TR/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WANG, Yulin; (US).
YILMAZ, Alpay; (US)
Mandataire : JANAH, Ashok; (US)
Données relatives à la priorité :
61/088,993 14.08.2008 US
12/196,860 22.08.2008 US
Titre (EN) CHEMICAL MECHANICAL POLISHER HAVING MOVABLE SLURRY DISPENSERS AND METHOD
(FR) POLISSEUSE CHIMIQUE ET MÉCANIQUE POSSÉDANT DES DISTRIBUTEURS DE SUSPENSION ÉPAISSE MOBILES ET PROCÉDÉ
Abrégé : front page image
(EN)A chemical mechanical polisher comprises a polishing platen capable of supporting a polishing pad, first and second substrate carriers that are each capable of holding a substrate against the polishing pad and first and second movable slurry dispansers. The movable slurry dispenser comprises (i) an arm comprising a pivoting end and a distal end, (ii) at least one slurry dispensing nozzle on the distal end, and (iii) a dispenser drive capable of rotating the arm about the pivoting end to swing the slurry dispensing nozzle at the distal end to dispense slurry across the polishing platen. In another version, the movable slurry dispenser comprises a hinged arm having a plurality of sections that are joined at one or more hinge joints, a pivoting end and a distal end, and at least one slurry dispensing nozzle located at or near the distal end.
(FR)L'invention porte sur une polisseuse mécanique et chimique qui comprend une platine à polir capable de supporter un tampon à polir, des premier et second supports de substrat qui sont chacun capables de maintenir un substrat contre le tampon à polir et des premier et second distributeurs de suspension épaisse mobiles. Le distributeur de suspension épaisse mobile comprend (i) un bras comportant une extrémité pivotante et une extrémité distale, (ii) au moins une buse de distribution de suspension épaisse sur l'extrémité distale et (iii) un pilote de distributeur capable de faire tourner le bras autour de l'extrémité pivotante pour balancer la buse de distribution de suspension épaisse à l'extrémité distale pour distribuer la suspension épaisse à travers la platine à polir. Dans un autre mode de réalisation, le distributeur de suspension épaisse mobile comprend un bras articulé présentant une pluralité de sections qui sont jointes à un ou plusieurs assemblages à rotule, une extrémité pivotante et une extrémité distale, et au moins une buse de distribution de suspension épaisse localisée au niveau ou à proximité de l'extrémité distale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)