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1. (WO2010016642) APPAREIL DE MESURE DE PRESSION SELON L'AXE Z POUR TESTEUR DE TRANCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/016642    N° de la demande internationale :    PCT/KR2008/006463
Date de publication : 11.02.2010 Date de dépôt international : 03.11.2008
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : SEMICS INC. [KR/KR]; #C-803, Bundang Techno-park 145 Yatap-dong, Bundang-gu, Seongnam-si Gyeonggi-do 463-070 (KR) (Tous Sauf US).
KO, Young Ho [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : KO, Young Ho; (KR)
Mandataire : LEE, Ji-Yeon; 4th Fl. Oksan Bldg. 1627-10, Bongcheon-7-dong, Gwanak-gu Seoul 151-818 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2008-0075908 04.08.2008 KR
Titre (EN) APPARATUS MEASURING PRESSURE OF Z-AXIS FOR WAFER PROBER
(FR) APPAREIL DE MESURE DE PRESSION SELON L'AXE Z POUR TESTEUR DE TRANCHES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to an apparatus for measuring an external pressure applied to the Z axis of the chuck plate of a wafer prober. The apparatus includes a plurality of sensors (2121 to 2124) installed at preset locations between a Z axis base (208), which supports a Z axis transfer device for transferring a chuck plate (200) along the Z axis, and an XY stage (210), which is attached to a bottom of the Z axis base and is configured to transfer the chuck plate along X and Y axes, thus sensing pressures. A control device (504) stores values, sensed by the plurality of sensors at a time of initially installing the wafer prober, as initial set values and detects external pressure applied to the Z axis on a basis of differences between values sensed by the plurality of sensors and the initial set values.
(FR)La présente invente porte sur un appareil pour mesurer une pression externe appliquée à l'axe Z de la plaque de mandrin d'un testeur de tranches. Ledit appareil comprend une pluralité de capteurs (2121 à 2124) installés en des emplacements préétablis entre une base d'axe Z (208), qui supporte un dispositif de transfert sur l'axe Z servant à transférer une plaque de mandrin (200) le long de l'axe Z, et un étage XY (210) qui est fixé à une partie inférieure de la base d'axe Z et qui est configuré pour transférer la plaque de mandrin le long des axes X et Y, ce qui permet de capter les pressions. Un dispositif de commande (504) stocke, en tant que valeurs de consigne, les valeurs détectées par la pluralité de capteurs au moment de l'installation initiale du testeur de tranches, et détecte la pression externe appliquée à l'axe Z sur la base de différences entre les valeurs détectées par la pluralité de capteurs et les valeurs de consigne initiales.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)