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1. (WO2010016500) PROCÉDÉ DE RÉCUPÉRATION DE MATIÈRES PREMIÈRES ET MÉCANISME DE PIÉGEAGE DESTINÉ À RÉCUPÉRER DES MATIÈRES PREMIÈRES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/016500    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/063824
Date de publication : 11.02.2010 Date de dépôt international : 04.08.2009
CIB :
C23C 16/44 (2006.01), B01D 53/14 (2006.01), B01D 53/18 (2006.01), B01D 53/72 (2006.01), B01D 53/77 (2006.01), C23C 16/16 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
GOMI Atsushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIZUSAWA Yasushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HATANO Tatsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HARA Masamichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAMOTO Kaoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YASUMURO Chiaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : GOMI Atsushi; (JP).
MIZUSAWA Yasushi; (JP).
HATANO Tatsuo; (JP).
HARA Masamichi; (JP).
YAMAMOTO Kaoru; (JP).
YASUMURO Chiaki; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE Kenji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-204767 07.08.2008 JP
Titre (EN) RAW MATERIAL RECOVERY METHOD AND TRAPPING MECHANISM FOR RECOVERING RAW MATERIAL
(FR) PROCÉDÉ DE RÉCUPÉRATION DE MATIÈRES PREMIÈRES ET MÉCANISME DE PIÉGEAGE DESTINÉ À RÉCUPÉRER DES MATIÈRES PREMIÈRES
(JA) 原料回収方法、及び、原料回収のためのトラップ機構
Abrégé : front page image
(EN)A raw material recovery method for recovering a raw material of an organic metallic compound, which has the property of being stable toward a specific refrigerant without being decomposed thereby, from exhaust gas discharged from a treatment container in which a metallic thin film is formed on the surface of an object to be treated by using source gas obtained by vaporizing the raw material is characterized by being provided with a solidification step for solidifying the unreacted source gas by cooling the exhaust gas by bringing the exhaust gas into contact with the refrigerant and reprecipitating the raw material, and a recovery step for separating and recovering the raw material reprecipitated in the solidification step from the refrigerant.
(FR)L'invention concerne un procédé de récupération de matières premières qui permet de récupérer des matières premières d'un composé organométallique qui a la propriété de présenter une bonne tenue vis-à-vis d'un réfrigérant spécifique sans être décomposé par ce dernier, dans des gaz d'échappement déchargés par un récipient de traitement, dans lequel un mince film métallique est formé à la surface d'un objet à traiter en utilisant un gaz de source obtenu par vaporisation de la matière première, caractérisé en ce qu'une étape de solidification qui solidifie le gaz de source qui n'a pas réagi par refroidissement des gaz d'échappement en amenant les gaz d'échappement en contact avec le réfrigérant et en reprécipitant la matière première est prévue, ainsi qu'une étape de récupération qui sépare et récupère les matières premières reprécipitées au cours de l’étape de solidification dans le réfrigérant.
(JA) 本発明は、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有する有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から、前記原料を回収するという原料回収方法において、前記排気ガスを前記冷媒と接触させて冷却することにより、未反応の原料ガスを凝固させて、前記原料を再析出させる凝固工程と、前記凝固工程で再析出された前記原料を、前記冷媒から分離して回収する回収工程と、を備えたことを特徴とする原料回収方法である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)