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1. (WO2010016288) SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/016288    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/053631
Date de publication : 11.02.2010 Date de dépôt international : 27.02.2009
CIB :
H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
YAMAMOTO, Masaya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOSHIMOTO, Risa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMAMOTO, Masaya; (JP).
YOSHIMOTO, Risa; (JP)
Mandataire : YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg. 10, Kanda-tsukasacho 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
Données relatives à la priorité :
61/136,045 08.08.2008 US
Titre (EN) ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN)An illumination condition with diversity in the shape and size of an illumination pupil luminance distribution is achieved. An illumination optical system for illuminating a surface to be irradiated on the basis of light from a light source is provided with a light flux conversion element (32) for converting a light flux incident along a first illumination light path into a light flux having a predetermined cross section to fixedly form a light intensity distribution on an illumination pupil, a first light guide member (31) for guiding the incident light to a second illumination light path, which is insertably provided in the first illumination light path, a spatial light modulator (34, 35) for variably spatially modulating the light incident along the second illumination light path through the first light guide member in order to variably form the light intensity distribution on the illumination pupil, and a second light guide member (33) for guiding the light incident along the second illumination light path through the spatial light modulator to the first illumination light path. The first light guide member is movable in an X-direction that crosses a YZ plane including the first illumination light path and the second illumination light path.
(FR)La présente invention permet d’obtenir une condition d'éclairement de forme et de taille de distribution de luminance de pupille d'éclairage diverses. Un système optique d'éclairage destiné à éclairer une surface à exposer en fonction de lumière provenant d'une source de lumière comprend un élément de conversion de flux de lumière (32) pour convertir un flux de lumière incident le long d'un premier trajet de lumière d'éclairage en un flux de lumière à section droite prédéterminée pour former de façon fixe une distribution d'intensité de lumière sur une pupille d'éclairage; un premier élément guide de lumière (31) pour guider la lumière incidente vers un second trajet de lumière d'éclairage prévu de façon insérable dans le premier trajet de lumière d'éclairage; un modulateur spatial de lumière (34, 35) pour moduler spatialement de façon variable la lumière incidente le long du second trajet de lumière d'éclairage à travers le premier élément guide de lumière afin de former de façon variable la distribution d'intensité de lumière sur la pupille d'éclairage; et un second élément guide de lumière (33) pour guider la lumière incidente le long du second trajet de lumière d'éclairage à travers le modulateur spatial de lumière vers le premier trajet de lumière d'éclairage. Le premier élément guide de lumière est déplaçable dans une direction X qui coupe un plan YZ comprenant le premier trajet de lumière d'éclairage et le second trajet de lumière d'éclairage.
(JA) 照明瞳輝度分布の形状および大きさについて多様性に富んだ照明条件を実現する。光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系は、第1照明光路に沿って入射した光束を所定の断面の光束に変換して照明瞳に光強度分布を固定的に形成する光束変換素子(32)と、第1照明光路に挿入可能に設けられて入射した光を第2照明光路へ導く第1導光部材(31)と、照明瞳に光強度分布を可変的に形成するために第1導光部材を経て第2照明光路に沿って入射した光に空間的な変調を可変的に付与する空間光変調器(34,35)と、空間光変調器を経て第2照明光路に沿って入射した光を第1照明光路へ導く第2導光部材(33)とを備えている。第1導光部材は、第1照明光路と第2照明光路とを含むYZ平面と交差するX方向に移動可能である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)