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1. (WO2010015695) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE POUR L'EXAMEN OPTIQUE DE SURFACES D'OBJETS, NOTAMMENT DE BORDS DE TRANCHES DE SILICIUM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/015695    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/060254
Date de publication : 11.02.2010 Date de dépôt international : 06.08.2009
CIB :
G01N 21/95 (2006.01)
Déposants : NANOPHOTONICS AG [DE/DE]; Galileo-Galilei-Str. 28 55129 Mainz (DE) (Tous Sauf US).
DREWS, Dietrich [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : DREWS, Dietrich; (DE)
Mandataire : FUCHS; Söhnleinstraße 8 65201 Wiesbaden (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 041 134.5 08.08.2008 DE
Titre (DE) INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN
(EN) INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR OPTICAL INVESTIGATION OF OBJECT SURFACES, IN PARTICULAR WAFER EDGES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE POUR L'EXAMEN OPTIQUE DE SURFACES D'OBJETS, NOTAMMENT DE BORDS DE TRANCHES DE SILICIUM
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferkanten. Das Inspektionsverfahren sieht vor, dass ein digitales Bild von einer Objektkante (18) mittels einer Digitalkamera (14) aufgenommen wird. Während des Aufnehmens des Kantenbiides ist eine Hintergrundbeleuchtung auf der der Digitalkamera abgewandten Seite des Objektes (10) zugeschaltet, deren Licht in Richtung der Digitaikamera (14) abstrahlt, wobei das in Richtung der Digitaikamera (14) abgestrahlte Licht teilweise von dem Objekt (10) abgeschattet wird. Weiterhin wird eine sich an die Objektkante anschließende ebene Hauptfläche (22) in der Kantenumgebung mittels einer Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30) beleuchtet, so dass ein Hellfeldbild der Hauptfläche (22) erzeugt wird. Aus Bildpunktinformationen des Bildes wird anhand eines Kontrastes zwischen der Objektkaπte (18) und dem Hintergrund ein Randes des Objekts (10) ermittelt und anhand eines Kontrastes zwischen der Objektkante (18) und der Hauptfläche (22) eine Übergangslinie (Bevelline).
(EN)The invention relates to an inspection device and an inspection method for optically investigating object surfaces, in particular wafer edges. In the inspection method, a digital image is taken of an object edge (18) using a digital camera (14). During recording of the edge image, a background illumination of the side of the object (10) facing away from the digital camera (14) is turned on, wherein the light of the background illumination radiated in the direction of the digital camera (14) is partially shaded by the object. Also, a flat main surface (22) surrounding the edge of the object and proximate thereto is illuminated using a plane illumination device (30) such that a bright field image of the main surface (22) is generated. An edge of the object (10) is determined from pixel information from the image by way of a contrast between the object edge (18) and the background and a transition line (bevel line) is determined by way of a contrast between the object edge (18) and the main surface (22).
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de contrôle pour l'examen optique de surfaces d'objets, notamment de bords de tranches de silicium. Le procédé de contrôle consiste à faire une prise de vue numérique d'un bord d'objet (18) au moyen d'une caméra numérique (14). Pendant la prise de vue du bord, un éclairage d'arrière-plan fonctionne sur le côté de l'objet (10) opposé à la caméra numérique et envoie de la lumière en direction de la caméra numérique (14), la lumière émise en direction de la caméra numérique (14) étant partiellement obscurcie par l'objet (10). En outre, une surface principale (22) plane dans le prolongement du bord de l'objet, dans la zone du bord, est éclairée par un dispositif d'éclairage de plan (30) de manière à produire une image à fond clair de la surface principale (22). Les informations de points de l'image permettent de déterminer, sur la base d'un contraste entre le bord de l'objet (18) et l'arrière-plan une bordure de l'objet (10) et, sur la base d'un contraste entre le bord de l'objet (18) et la surface principale (22), une ligne de transition (biseau).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)