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1. (WO2010014553) CHAMBRE À VIDE EN BÉTON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/014553    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/051860
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 27.07.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/203 (2006.01), H01L 21/265 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
POLYAK, Alexander, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
CHO, Tom, K. [US/US]; (US) (US Seulement).
YUDOVSKY, Joseph [US/US]; (US) (US Seulement).
VESCI, Anthony [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : POLYAK, Alexander, S.; (US).
CHO, Tom, K.; (US).
YUDOVSKY, Joseph; (US).
VESCI, Anthony; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
61/084,158 28.07.2008 US
12/506,575 21.07.2009 US
Titre (EN) CONCRETE VACUUM CHAMBER
(FR) CHAMBRE À VIDE EN BÉTON
Abrégé : front page image
(EN)The present invention embodies processing systems and vacuum chambers equipped to process substrates for flat panel displays, solar cells, or other electronic devices. The processing system and/or the vacuum chambers as well as their components and supporting structure are constructed of less costly materials and in a more energy efficient manner than that of current large area substrate processing systems. In one embodiment, the processing system chamber bodies and their supporting structures are constructed of reinforced concrete. In one embodiment, system processing chambers include a vacuum tight lining disposed inside reinforced concrete chamber bodies.
(FR)La présente invention concerne des systèmes de traitement et des chambres à vide équipées pour traiter des substrats pour écrans plats, cellules solaires ou autres dispositifs électroniques. Le système de traitement et/ou les chambres à vide de l’invention ainsi que leurs composants et structures de support sont construits à partir de matériaux moins coûteux et de manière plus éco-énergétique que les systèmes de traitement de substrats existants de grandes dimensions. Dans un mode de réalisation, les corps de la chambre du système de traitement et leurs structures de support sont faits de béton armé. Dans un mode de réalisation, les chambres de traitement du système comprennent un revêtement étanche au vide disposé à l’intérieur des corps de chambre en béton armé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)